Растрові електронні мікроскопи FEI

Скануючі Електронні Мікроскопи (SEM) представлені лінійкою обладнання від компанія Thermo Scientific (в попередні роки компанія FЕI). Це швидкі, ефективні і універсальні SEM з гарними характеристиками, що користуються попитом у світі.

SEM дозволяє одержувати зображення поверхні зразка шляхом сканування його сфокусованим пучком електронів. Взаємодія електронів з атомами зразка створює сигнали, що несуть інформацію про рельєф поверхні, склад і структуру об’єкта дослідження. Електронна гармата може бути як термоемісійного типу з вольфрамовою ниткою, так і автоемісійним джерелом (наприклад джерело польової емісії Шоттки). В залежності від використання детекторів для реєстрації сигналу виділяють декілька режимів роботи SEM: відбиті електрони, вторинні електрони, катодолюмінесценція і інші.

Застосування SEM

Растрові мікроскопи є необхідним інструментом для проведення досліджень у фізиці, біології, електроніці, матеріалознавстві, нанотехнологіях для отримання зображення поверхні та приповерхневої області зразка. Також вони можуть використовуватись для контролю якості зразків та у криміналістичній експертизі для вивчення слідів пострілу.

Ключові переваги

При застосування даних SEM досягається роздільна здатність від декількох нанометрів до субнанометрового діапазону (гранична роздільна здатність до 0,6 нм).

Наявність високовакуумної платформи з підігрівом (High Vacuum Heating Stage) дозволяє проводити спостереження чистих зразків при високій температурі.

Завдяки AutoScript користувачі можуть легко запрограмувати сканування зображення та рух предметної платформи в автоматичному режимі.

Технологія відкачування ЕSEM дозволяє моделювати середовище для аналізу складних зразків зазвичай не придатних для електронної мікроскопії.