Растрові електронні мікроскопи FEI

Скануючі Електронні Мікроскопи (SEM) представлені лінійкою обладнання від компанія Thermo Scientific (в попередні роки компанія FЕI). Це швидкі, ефективні і універсальні SEM з гарними характеристиками, що користуються попитом у світі.

SEM дозволяє одержувати зображення поверхні зразка шляхом сканування його сфокусованим пучком електронів. Взаємодія електронів з атомами зразка створює сигнали, що несуть інформацію про рельєф поверхні, склад і структуру об’єкта дослідження. Електронна гармата може бути як термоемісійного типу з вольфрамовою ниткою, так і автоемісійним джерелом (наприклад джерело польової емісії Шоттки). В залежності від використання дитекторів для реєстрації сигналу виділяють декілька режимів роботи SEM: відбиті електрони, вторинні електрони, катодолюмінесценція і інші.

Растрові мікроскопи використовуються як інструмент для проведення дослідженнь у фізиці, біології, електроніці, матеріалознавстві, нанотехнологіях, і дозволяють отримати, зображення поверхні зразка. Також можуть використовуватись для контролю якості зразків.

При застосування даних SEM досягається роздільна здатність від декількох нанометрів до субнанометрового діапазону (гранична роздільна здатність до 0,6 нм).

Наявність високовакуумної платформи з підігрівом (High Vacuum Heating Stage) дозволяє проводити спостереження чистих зразків при високій температурі.

Завдяки AutoScript користувачі можуть легко запрограмувати сканування зображення та рух предметної платформи в автоматичному режимі.

Технологія відкачування ЕSEM дозволяє моделювати середовище для аналізу складних зразків зазвичай не придатних для електронної мікроскопії.