Система детектування WDS від Oxford Instruments

Метод рентгенівської спектроскопії хвилевої дисперсії (WDS) — аналітична методика елементного аналізу твердих речовин, що базується на аналізі максимумів за їх розміщенням (довжини хвилі емісії) та інтенсивністю її рентгенівського спектру. За допомогою WDS методики, при дослідженні об’єктів у скануючому електронному мікроскопі (SEM), можливо кількісно і якісно визначати елементи починаючи з Берилію.

Енергетичний спектр рентгенівського випромінювання, отриманий від збуджених електронним променем атомів, розкладають за допомогою дифракції на кристалах по різних ділянках в залежності від довжини хвилі. При цьому для аналізу спектрометр налаштований лише на одну довжину хвилі і лише для одного елемента. Така методика дає на порядок вищу чутливість та спектральну роздільну здатність ніж метод EDS. Проте WDS уступає EDS у швидкості аналізу всього зразку, адже неможливо проміряти зразу весь рентгенівський спектр, отже немає можливості швидкого одночасного аналізу всіх елементів, що наявні у об’єкті.