Двопучкові системи Helios NanoLab

Двопучкові системи Helios NanoLab

Електронно-іонні мікроскопи Helios NanoLab – це новітня розробка компанії Thermo Scientific (раніше FEI). Двопучкова система забезпечує отримання зображення з субнанометровою роздільною здатністю в режимах роботи S\TEM електронної гармати. Одночасно Helios NanoLab, завдяки наявній іонній гарматі, є надійним інструментом для швидкої та точної підготовки зразків при дослідженнях на трансмісійних мікроскопах.

Інноваційна електронна колонна Elstar дозволяє отримати граничні значення роздільної здатності 0,7нм в усьому діапазоні робочих енергій від 30кВ до 1кВ завдяки своїм конструкційним особливостям:

  • сучасне джерело електронів – польовий емітер Шоттки;
  • імерсійні лінзи для створення фокусуючого магнітного поля поза колоною;
  • лінзи постійної сили для високої термічної стабільності та забезпечення електростатичного сканування;
Електронно-іонні мікроскопи | Дослідження поверхні та складу | Новації
  • режиму гальмування пучка;
  • монохроматор UC забезпечує отримання граничної роздільної здатності в 1 нм при знижених робочих енергіях в 500В, що гарантує збереження робочого стану чутливих зразків- діелектриків, фоторезистів;
  • оновлена автоматизована система керування та система детектування з вбудованими в колону детекторами (SE/ ВSE -детектори Elstar (ICD), ВSE-детектор Elstar (MD));

Іонні колони: Tomahawk, PFIB2.0 (в залежності від обраної моделі).  В колоні Tomahawk, як джерело первинного пучка, використовують іони галію ( Ga). Новітньою розробкою від FEI є іонна колона PFIB2.0 , яка в якості первинного пучка використовує не  іони галію( Ga), а іони плазми одного з чотирьох газів: ксенону, аргону, кисню чи азоту (Xe, Ar, O, N) із автоматизованим швидким перемиканням між ними. Така колона дозволяє застосовувати пучки іонів плазми для підготовки зразків, де використання галію є небажаним. Для прикладу, іони галію легко розчиняється в алюмінії, відповідно, створити чисті зразки з алюмінію використовуючи гармату з джерелом іонів галію стає неможливим. Іонна колона PFIB2.0  дозволяє отримати нову якість при підготовці зразків для роботи на TEM мікроскопах.

В електронно-іонних мікроскопах Helios NanoLab використовується запатентоване рішення в області іонної хімії GIS (система інжекції газу) для розширеного травлення або ж напилення зразка. Завдяки наявній системі GIS  створено можливість підводу газу безпосередньо до поверхні зразка, що забезпечує напилення на поверхні тонких плівок, з’єднань, доріжок тощо в заданому місці.

Офіційним дистриб’ютором компанії Thermo Scientific в Україні є ТОВ Новації.

  • матеріалознавство;
  • мікроелектроніка;
  • геологія та нафтовидобувна галузі;
  • природничі науки та біотехнології;
  • нанотехнології.

Роздільна здатність електронної гармати на оптимальній робочій дистанції:

Для діапазону високих струмів від 0.8 пA до 100 нА

  • 0.6 нм при 30 кВ (режим STEM)
  • 0.7 нм при 1 кВ
  • 1.0 нм при 500В (режим ICD)

Для діапазону низьких струмів від 0.8 пA до 22 нА

  • 0.7 нм при 30 кВ STEM
  • 0.8 нм при 15 кВ
  • 0.4 нм при 1 кВ

Роздільна здатність електронної гармати у точці перетину пучків:

Для діапазону високих струмів від 0.8 пA до 100 нА

  • 0.6 нм при 15 кВ
  • 1.2 нм при 1 кВ

Для діапазону низьких струмів від 0.8 пA до 22 нА

  • 0.8 нм при 15 кВ
  • 1.5 нм при 1 кВ

Роздільна здатність іонної гармати в точці перетину пучків:

  • 0 нм при 30 кВ при застосуванні оптимального статистичного методу
  • 5 нм при 30 кВ при застосуванні селективного граничного методу

Робочий діапазон струмів пучка:

  • електронна гармата – від 8 пA до 100 нА
  • іонна гармата – від 1 пA до 65 нA

Вакуумна система для забезпечення робочого вакууму в камері <2,6 * 10-6 мбар:

  • Турбомолекулярний насос з робочим об’ємом в 210 л/с
  • Сухий форвакуумний насос
  • Чотири іонно-гетерних насосів

Робоча камера

  • Точка перетину іонного і електронного пучків складає 4мм для SEM (робоча відстань)
  • Кут нахилу між іонною та електронною колонами складає 52°

Система детектування:

  • Внутрішньолінзовий SE/BSE детектор Elstar (TLD-SE, TLD-BSE)
  • SE/ ВSE -детектор Elstar в колоні (ICD)
  • ВSE-детектор Elstar в колоні (MD)
  • Детектор Венхарда – Торнлі SE (ETD)
  • ІК-камера для контролю зображення зразка / колони
  • Вбудована в камеру Nav-Cam + ™
  • Високоефективний детектор конверсії іонів і електронів (ICE) для вторинних іонів (SI) і електронів (SE).
  • Висувний низьковольтний висококонтрасний твердотільний детектор обернено-розсіяних електронів (DBS)
  • Висувний STEM детектор з сегментами BF / DF / HAADF
  • Інтегровані вимірювання струму пучка

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: