Скануючі електронні мікроскопи Verios™ XHR SEM

Скануючі електронні мікроскопи Verios™ XHR SEM

Cкануючий електронний мікроскоп Verios SEM від компанії FEI (Thermo Scientific) має унікальні технології, такі як лінзи сталої сили для підвищення термостабільності та електростатичного сканування, це дозволяє отримати результати з високою лінійністю та субнанометровою точністю. Його удосконалена робота при низьких прискорюючих напругах, джерелі електронів польової емісії Шоттки та імерсійних магнітних лінзах забезпечує отримання даних про структуру поверхні з максимальним розділенням до 0.6 нм.

Мікроскоп Verios зручно використовувати для контролю якості при виробництві напівпровідників і пристроїв зберігання даних. Цей SEM забезпечує швидку і зручну роботу з нано-вузлами, що, в свою чергу, перетворює його в комплексне рішення для наукових досліджень, управління технологічними процесами, створення матеріалів, аналізу дефектів.

  • Максимальна роздільна здатність: до 0,6 нм при 2кВ-15кВ та при 30 кВ (SТEМ).
  • Діапазон струму пучка: від 0,8пА до 100 нА.
  • Діапазон прискорюючої напруги: 350 В – 30 кВ.
  • Діапазон енергії падіння: 20 еВ – 30 кеВ з додатковим гальмуванням пучка.
  • Максимальна горизонтальна ширина поля: 2,3 мм при робочій відстані 4 мм.
  • Внутрішня ширина: 379 мм.
  • Аналітична робоча відстань 4 мм.
  • Кількість портів: 21.
  • Інтегрована плазмова чистка.
  • Внутрішньолінзовий детектор вторинних електронів Elstar (TLD-SE)
  • Внутрішньолінзовий детектор зворотньо – розсіяних електронів Elstar (TLD-ВSE)
  • Внутршньоколонний детектор вторинних електронів Elstar (TLD-SE)
  • Внутршньоколонний детектор зворотньо – розсіяних електронів Elstar (MD)
  • Детектор вторинних електронів Еверхарта – Торнлі (ETD)
  • ІЧ-камера для візуального огляду зразка / колони
  • Вбудована навігаційна камера Nav-Cam + .
  • Висувний низьковольтний висококонтрастний твердотільний детектор зворотньо – відбитих електронів (DBS).
  • Висувний детектор пропущених електронів з сегментами BF / DF / HAADF (STEM)
  • Інтегроване вимірювання струму пучка.
  • 1х220 л / с ТМП (турбомолекулярний насос).
  • 1хPVP (форвакуумний насос).
  • 2хIGP іонно-геттерних насоса.
  • Рівень вакуума в камері <2,6х10– 6 мбар (через 24 годин відкачки).

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: