Сканувальний електронний мікроскоп Verios 5 XHR SEM

Сканувальний електронний мікроскоп Verios 5 XHR SEM

Cканувальний електронний мікроскоп Verios 5 XHR SEM від компанії Thermo Scientific дозволяє проводити характеризацію наноматеріалів з субнанометровою роздільною здатністю та високою контрастністю. Інноваційна електронна оптика, що включає запатентовану Thermo Scientific гармату UC+, лінзи сталої сили та електростатичне сканування, забезпечує точну та стабільну візуалізацію. Технологія SmartAlign, реалізована в Verios 5 XHR, виключає необхідність вирівнювання електронної колони.

Мікроскоп Verios 5 XHR SEM забезпечує швидку і зручну роботу з нано-вузлами, що, в свою чергу, перетворює його в комплексне рішення для наукових досліджень, управління технологічними процесами, створення матеріалів, аналізу дефектів. Даний мікроскоп використовують зокрема для контролю якості при виробництві напівпровідників і пристроїв зберігання даних.

  • Максимальна роздільна здатність: 0,6 нм при 2-15 кВ та при 30 кВ (SТEМ), 0,7 нм при 1 кВ, 1,0 нм при 500 В
  • Діапазон струму пучка: від 0,8 пА до 100 нА
  • Діапазон прискорюючої напруги: 350 В – 30 кВ
  • Максимальна горизонтальна ширина поля: 2,3 мм при робочій відстані 4 мм
  • Внутрішня ширина: 379 мм
  • Аналітична робоча відстань: 4 мм
  • Кількість портів: 21
  • Інтегрована плазмова чистка
  • Внутрішньолінзовий детектор вторинних електронів/зворотньо-розсіяних електронів Elstar (TLD-SE, TLD-BSE)
  • Внутрішньоколонний детектор вторинних електронів/зворотньо-розсіяних електронів Elstar (ICD)
  • Внутрішньоколонний детектор зворотньо-розсіяних електронів Elstar (MD)
  • Детектор вторинних електронів Еверхарта – Торнлі (ETD)
  • ІЧ-камера для візуального огляду зразка/колони
  • Thermo Scientific Nav-Cam™: оптична навігаційна камера
  • Висувний низьковольтний висококонтрастний твердотільний детектор зворотньо-розсіяних електронів (DBS)*
  • Висувний STEM 3+ детектор з сегментами BF/DF/HAADF *
  • Інтегроване вимірювання струму пучка

* – опціонально

  • Повністю безмасляна вакуумна система
  • Рівень вакууму в камері <2,6х10– 6 мбар (через 24 години відкачки)
  • Час відкачки: <5 хвилин
 Verios 5 UCVerios 5 HP
ТипУстановлена на дверцята, високоточна 5-осьова моторизована платформа, з пʼєзоприводом осі XYRУстановлена на робочу камеру, ультра стабільна 5-осьова повністю пʼєзо моторизована платформа
Завантаження зразкаЧерез дверцята робочої камериЧерез автоматизований шлюз для завантаження
XY150 х 150 мм2100 х 100 мм2
Відтворюваність< 1,0 мкм< 0,5 мкм
Моторизована Z10 мм≥ 20 мм
Обертання360° (безперервне)360° (безперервне)
Нахил-10°- +60° -10°- +60°
Максимальна вага зразка500 г при нахилі 0°, включно з тримачем зразка200 г в усьому діапазоні переміщення, включно з тримачем зразка
Максимальний розмір зразка150 мм при обертанні у всьому діапазоні (більші зразки допустимі при обмеженому переміщенні платформи чи обертанні)100 мм при обертанні у всьому діапазоні (більші зразки допустимі при обмеженому переміщенні платформи чи обертанні)

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: