Сканувальний електронний мікроскоп Verios 5 XHR SEM
Cканувальний електронний мікроскоп Verios 5 XHR SEM від компанії Thermo Scientific дозволяє проводити характеризацію наноматеріалів з субнанометровою роздільною здатністю та високою контрастністю. Інноваційна електронна оптика, що включає запатентовану Thermo Scientific гармату UC+, лінзи сталої сили та електростатичне сканування, забезпечує точну та стабільну візуалізацію. Технологія SmartAlign, реалізована в Verios 5 XHR, виключає необхідність вирівнювання електронної колони.
Мікроскоп Verios 5 XHR SEM забезпечує швидку і зручну роботу з нано-вузлами, що, в свою чергу, перетворює його в комплексне рішення для наукових досліджень, управління технологічними процесами, створення матеріалів, аналізу дефектів. Даний мікроскоп використовують зокрема для контролю якості при виробництві напівпровідників і пристроїв зберігання даних.
- Максимальна роздільна здатність: 0,6 нм при 2-15 кВ та при 30 кВ (SТEМ), 0,7 нм при 1 кВ, 1,0 нм при 500 В
- Діапазон струму пучка: від 0,8 пА до 100 нА
- Діапазон прискорюючої напруги: 350 В – 30 кВ
- Максимальна горизонтальна ширина поля: 2,3 мм при робочій відстані 4 мм
- Внутрішня ширина: 379 мм
- Аналітична робоча відстань: 4 мм
- Кількість портів: 21
- Інтегрована плазмова чистка
- Внутрішньолінзовий детектор вторинних електронів/зворотньо-розсіяних електронів Elstar (TLD-SE, TLD-BSE)
- Внутрішньоколонний детектор вторинних електронів/зворотньо-розсіяних електронів Elstar (ICD)
- Внутрішньоколонний детектор зворотньо-розсіяних електронів Elstar (MD)
- Детектор вторинних електронів Еверхарта – Торнлі (ETD)
- ІЧ-камера для візуального огляду зразка/колони
- Thermo Scientific Nav-Cam™: оптична навігаційна камера
- Висувний низьковольтний висококонтрастний твердотільний детектор зворотньо-розсіяних електронів (DBS)*
- Висувний STEM 3+ детектор з сегментами BF/DF/HAADF *
- Інтегроване вимірювання струму пучка
* – опціонально
- Повністю безмасляна вакуумна система
- Рівень вакууму в камері <2,6х10– 6 мбар (через 24 години відкачки)
- Час відкачки: <5 хвилин
| Verios 5 UC | Verios 5 HP | |
|---|---|---|
| Тип | Установлена на дверцята, високоточна 5-осьова моторизована платформа, з пʼєзоприводом осі XYR | Установлена на робочу камеру, ультра стабільна 5-осьова повністю пʼєзо моторизована платформа |
| Завантаження зразка | Через дверцята робочої камери | Через автоматизований шлюз для завантаження |
| XY | 150 х 150 мм2 | 100 х 100 мм2 |
| Відтворюваність | < 1,0 мкм | < 0,5 мкм |
| Моторизована Z | 10 мм | ≥ 20 мм |
| Обертання | 360° (безперервне) | 360° (безперервне) |
| Нахил | -10°- +60° | -10°- +60° |
| Максимальна вага зразка | 500 г при нахилі 0°, включно з тримачем зразка | 200 г в усьому діапазоні переміщення, включно з тримачем зразка |
| Максимальний розмір зразка | 150 мм при обертанні у всьому діапазоні (більші зразки допустимі при обмеженому переміщенні платформи чи обертанні) | 100 мм при обертанні у всьому діапазоні (більші зразки допустимі при обмеженому переміщенні платформи чи обертанні) |