Сканувальний електронний мікроскоп Verios™ XHR SEM

Cканувальний електронний мікроскоп Verios SEM від компанії FEI (Thermo Scientific) має унікальні технології, такі як лінзи сталої сили для підвищення термостабільності та електростатичного сканування, це дозволяє отримати результати з високою лінійністю та субнанометровою точністю. Його удосконалена робота при низьких прискорюючих напругах, джерелі електронів польової емісії Шоттки та імерсійних магнітних лінзах забезпечує отримання даних про структуру поверхні з максимальним розділенням до 0.6 нм.

Мікроскоп Verios зручно використовувати для контролю якості при виробництві напівпровідників і пристроїв зберігання даних. Цей SEM забезпечує швидку і зручну роботу з нано-вузлами, що, в свою чергу, перетворює його в комплексне рішення для наукових досліджень, управління технологічними процесами, створення матеріалів, аналізу дефектів.