Електронна мікроскопія
Швидкі, ефективні і універсальні електронні мікроскопи:
- растрові або ж скануючі (SEM);
- просвітлюючі або ж трансмісійні (ТЕМ)
від компанії FЕI (Thermo Scientific) визнані в світі провідними системами для дослідження рельєфу поверхні, складу і структури об’єкта з нанометровим розділенням. В електронному мікроскопі для спостереження збільшеного зображення на об’єкт дослідження направляють сфокусований електронний промінь. Методи спостереження залежать від місця розташування детекторів і дозволяють отримувати різну інформацію про обʼєкт: спостереження в пройдених через обʼєкт променях; аналіз відбитих променів при реєстрації вторинних електронів чи рентгенівського випромінювання. Відповідно до поставленої задачі обирається метод реєстрації та програмне забезпечення з відповідним детектором:
- енергодисперсійної спектроскопії (EDS),
- дифракції зворотно розсіяних електронів (EBSD),
- спектроскопії хвильової дисперсії (WDS).