Електронна мікроскопія

Швидкі, ефективні і універсальні електронні мікроскопи:

• растрові або ж скануючі (SEM);
• просвітлюючі або ж трансмісійні (ТЕМ)

від компанії FЕI (Thermo Scientific) визнані в світі провідними системами для дослідження рельєфу поверхні, складу і структури об’єкта з нанометровим розділенням. В електронному мікроскопі для спостереження збільшеного зображення на об’єкт дослідження направляють сфокусований електронний промінь. Методи спостереження залежать від місця розташування детекторів і дозволяють отримувати  різну інформацію про обʼєкт: спостереження в пройдених через обʼєкт променях; аналіз відбитих променів при реєстрації вторинних електронів чи рентгенівського випромінювання. Відповідно до поставленої задачі обирається метод реєстрації та програмне забезпечення з відповідним детектором:

• енергодисперсійної спектроскопії (EDS),
• дифракції зворотно розсіяних електронів (EBSD),
• спектроскопії хвильової дисперсії (WDS).