Система детектування EBSD від Oxford Instruments

Метод EBSD (Electron backscattered diffraction, дифракції обернено розсіяних електронів), ще один додатковий метод визначення параметрів зразка в скануючому електронному мікроскопі (SEM). EBSD дозволяє визначати тип і орієнтацію кристалічної решітки локально в кожній точці зразка. Локальність при вивченні масивних зразків становить близько 30 нм.

Застосовується метод EBSD в металургії, матеріалознавстві і фізиці із-за відносної простоти підготовки зразка, високої швидкість збору даних, а також можливості отримання однозначної інформації про мікроструктуру об’єкта дослідження.

EBSD незамінний при ідентифікації фаз у випадках, коли досліджувані фази мають близький (або зовсім однаковий) склад, відповідно не ідентифікуються за допомогою енергодисперсійного спектрометра, але при цьому мають різну будову кристалічних решіток. Картування поверхні зразка за допомогою детектора EBSD дозволяє виявити розташування кристалітів, визначити орієнтацію кожного з кристалітів по відношенню до виділеного напрямку на зразку (наприклад, до напрямку прокатки), знайти типи міжзернових кордонів, внутрішню напругу в зернах та інше. Безліч інформації крім фазових і орієнтаційних карт може бути отримано з масиву даних, в якому записані тип і орієнтація кристалічної решітки для кожного пікселя на поверхні зразка, обраної для картування.

Детектори EBSD (Symmetry, C-Swift, C-Nano) від компанії Oxford Instruments для одночасного аналізу структури, текстури і хімічного складу матеріалів.