Скануючі електронні мікроскопи Quanta Inspect SEM

Скануючі електронні мікроскопи Quanta Inspect SEM

Quanta Inspect SEM – це скануючий електронний мікроскоп з вольфрамовим катодом. Працює в двох операційних вакуумних режимах: високий вакуум (HiVac) та низький вакуум (LoVac), вакуумна система повністю автоматизована. Даний прилад застосовується для дослідження непровідних зразків в режимі низького вакууму.
Технологія SmartSCAN дозволяє знизити рівень шуму і отримати більш якісні дані. Запатентована диференціальна система відкачування через лінзу дозволяє проводити точний EDS і EBSD аналіз провідних і непровідних зразків. Стабільний високий струм пучка (до 2 мкА) забезпечує швидкий і точний аналіз. В режимі високого вакууму при напрузі прискорення 30 кВ досягається роздільна здатність до 3 нм. Навігація по кольоровому зображенню Nav-Cam забезпечує ще більше можливостей для досліджень. Комплектується такими детекторами: детектор вторинних електронів Еверхарта-Торнлі (EDT) та детектор вторинних електронів у режимі низького вакууму (LFD), які дають змогу отримувати зображення з топографічним контрастом; твердотільний детектор зворотно-розсіяних електронів (BSED) для отримання зображення з інформацією про варіації складу на основі контрасту за середнім атомним номером а також детектор вторинних електронів для низького вакууму GSED.
Quanta Inspect SEM призначений для вимірювань лінійних розмірів, форми, орієнтації та інших параметрів наноструктур і мікрорельєфу поверхонь різних об’єктів. Підходить для промислових досліджень та розробок, контролю якості і аналізу несправностей.

Скануючі електронні мікроскопи Quanta Inspect SEM
  • Роздільна здатність у режимі високого вакууму:
  1. 3,0 нм при 30 кВ (SE)
  2. 4,0 нм при 30 кВ (BSE)
  3. 8,0 нм при 3 кВ (SE)
  • Роздільна здатність у режимі низького вакууму:
  1. 3,0 нм при 30 кВ (SE)
  2. 4,0 нм при 30 кВ (BSE)
  3. 10 нм при 3 кВ (SE)
  • Ширина: 284 мм
  • Аналітична робоча відстань:10 мм
  • Кількість портів: 8
  • Кут виходу для детектора EDS: 35°
  • Everhardt Thornley SED (детектор вторинних електронів)
  • Низьковакуумний SED (LFD)
  • Газовий детектор SED (GSED)
  • ІЧ-камера для контролю зразків
  • Твердотільний BSED
  • Газовий детектор BSED
  • 1x 70 л/с TMП (турбомолекулярний насос)
  • 1x PVP (форвакуумний насос)
  • Запатентована диференціальна система відкачування через лінзу
  • Вакуум в камері (високий) Па
  • Вакуум в камері (низький) від 10 до 270 Па
  • Час відкачки: ≤ 150 с до високого вакууму і ≤ 270 с до низького вакууму
  • Діапазон переміщення столика: вісь X, Y = 50 мм, Z = 50 мм (25 моторизованих)
  • Кут нахилу: від – 15°  до + 75° (ручний режим)
  • Можливість неперервного обертання зразка: 360°
  • Рухи по осі X, Y відбуваються в площині нахилу

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: