Сканувальний електронний мікроскоп Quanta Inspect SEM

Quanta Inspect SEM – це сканувальний електронний мікроскоп з вольфрамовим катодом. Працює в двох операційних вакуумних режимах: високий вакуум (HiVac) та низький вакуум (LoVac), вакуумна система повністю автоматизована. Даний прилад застосовується для дослідження непровідних зразків в режимі низького вакууму.
Технологія SmartSCAN дозволяє знизити рівень шуму і отримати більш якісні дані. Запатентована диференціальна система відкачування через лінзу дозволяє проводити точний EDS і EBSD аналіз провідних і непровідних зразків. Стабільний високий струм пучка (до 2 мкА) забезпечує швидкий і точний аналіз. В режимі високого вакууму при напрузі прискорення 30 кВ досягається роздільна здатність до 3 нм. Навігація по кольоровому зображенню Nav-Cam забезпечує ще більше можливостей для досліджень. Комплектується такими детекторами: детектор вторинних електронів Еверхарта-Торнлі (EDT) та детектор вторинних електронів у режимі низького вакууму (LFD), які дають змогу отримувати зображення з топографічним контрастом; твердотільний детектор зворотно-розсіяних електронів (BSED) для отримання зображення з інформацією про варіації складу на основі контрасту за середнім атомним номером а також детектор вторинних електронів для низького вакууму GSED.
Quanta Inspect SEM призначений для вимірювань лінійних розмірів, форми, орієнтації та інших параметрів наноструктур і мікрорельєфу поверхонь різних об’єктів. Підходить для промислових досліджень та розробок, контролю якості і аналізу несправностей.