Системи детектування EDS від AMETEK та Oxford Instruments
Енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія (EDS) – метод елементного аналізу твердих зразків, що базується на дослідженні спектру випромінювання зразка в рентгенівському діапазоні. За допомогою сканувального або трансмісійного електронного мікроскопа на зразок направляють сфокусований високоенергетичний пучок електронів, що переводить атоми зразка у збуджений стан. Збуджені атоми емітують характеристичне рентгенівське випромінювання, унікальне для кожного хімічного елемента. Реєстрація кількості та енергії рентгенівського випромінювання, вивільненого зразком, здійснюється спеціальною системою детектування – енергодисперсійним спектрометром. Аналіз отриманого рентгенівського спектру дозволяє визначити якісний та кількісний склад зразка.
ТОВ Новації пропонує системи детектування EDS від компаній EDAX AMETEK та Oxford Instruments.
Серія детекторів EDS рентгенівської енергодисперсійної спектроскопії від компанії EDAX AMETEK забезпечує потужний аналітичний потенціал у компактному пакеті, максимальну продуктивність та гнучкість, дозволяючи при цьому спрощену роботу, швидкі результати та простоту використання. Поєднання кремнієвого дрейф детектора (SDD) із зручним для користувачів програмним забезпеченням APEX забезпечує повне рішення для всіх рівнів аналізу та високої продуктивності роботи.
Детектори EDS від компанії EDAX AMETEK представлені наступним модельним рядом: Element EDS System, Octane Elite EDS System, Octane Elect EDS System.
Загальні характеристики:
- Швидка обробка імпульсів для відображення та кількісного визначення
- Оптимізована якість даних при всіх швидкостях підрахунку
- Кількісний аналіз високої роздільної здатності зі швидкістю відображення більше 300 000 фотонів в секунду
- Оптимізована конструкція для виявлення легких елементів
| Element EDS System | Octane Elite EDS System | Octane Elect EDS System | |
|---|---|---|---|
| Активна площа кристала | 30 мм2 | Plus (30 мм2) Super (70 мм2) | Plus (30 мм2) Super (70 мм2) |
| Наявність просвітлених вікон (підвищення чутливості виявлення легких елементів) | Вікно з нітриду кремнію Si3N4 | Вікно з нітриду кремнію Si3N4 | Вікно з нітриду кремнію Si3N4 |
| Гарантовані характеристики розділення за енергією | 129 еВ, Mn Кα і 10000 CPS | 125 еВ, Mn Кα і 10000 CPS 123 еВ додаткова функція | 127 еВ, Mn Кα і 10000 CPS |
| Модуль герметично закритий під вакуумом | Так | Так | Так |
| Слайдер (керування рухом детектора при занадто великому потоці електронів на малих збільшеннях) | Фіксований або ручний | Фіксований або ручний | Фіксований або ручний |
| Кількісний аналіз | > 300 000 CPS | > 850 000 CPS | > 700 000 CPS |
| Рентгенографічне картування | > 1 000 000 CPS | > 2 000 000 CPS | > 1 600 000 CPS |
| Діапазон виявлення | Be до Am | Al L (73 еВ) до Am | Al L (73 еВ) до Am |
| Охолодження | Елемент Пельтьє | Елемент Пельтьє | Елемент Пельтьє |
Детектори EDS Ultim Max та Ultim Extreme від компанії Oxford Instruments це наступне покоління кремнієвих дрейфових детекторів (SDD), які поєднують в собі великі розміри датчиків (до 170 мм2) та Extreme Electronics (виявлення рентгенівського випромінювання з низьким рівнем шуму), що забезпечує безпрецедентну швидкість і чутливість аналізу.
Загальні характеристики:
- Можлива робота при енергіях менше 2 кВ, що дозволяє отримати просторову роздільну здатність нижче 10 нм в об’ємних зразках
- Гарантовані характеристики розділення за енергією (127 еВ, Mn Кα)
- Типове розділення за енергією – 125 еВ на лініях Mn Кα
- Зовнішній діаметр трубки детекторів не залежить від площі кристалів і дозволяє максимально наблизитися до зразка – так само, як і з кристалами малого діаметра
- Гарантовані характеристики розділення по енергії не залежать від площі кристалів
- Визначення будь-яких елементів від літію (Li)
- Не вимагають рідкого азоту для охолодження – тільки підключення до електроенергії
- Охолодження протягом кількох секунд
| Ultim Max | Ultim Extrime | |
|---|---|---|
| Активна площа кристала | 40 мм2, 65 мм2, 100 мм2 і 170 мм2 | 100 мм2 |
| Конфігурація без вікон (підвищення чутливості виявлення легких елементів) | Ні | Так |
| Наявність Extreme Electronics (низькошумна електроніка для детектування і аналізу рентгенівського випромінювання) | Так | Так |
| Сильфонне під’єднання до SEM | Так | Так |
| Моторизований слайдер (автоматично висуває детектор при занадто великому потоці електронів на малих збільшеннях) | Так | Так |
| Кількісний аналіз | > 400 000 CPS | > 400 000 CPS |
| Рентгенографічне картування | > 1 000 000 CPS | > 1 000 000 CPS |
| Аналіз легких елементів (робота при зниженні енергії посадки електронів з 5 кВ до 3,5 кВ) | Так , тільки з великими датчиками: 100 мм2 і 170 мм2 | Так (від літію) |
| Наявність TruMap (контроль артефактів в рентгенівських спектрах та можливість розділення елементів, що накладаються) | Так | Так |