Сканувальний електронний мікроскоп Quattro ESEM
Cканувальний електронний мікроскоп Quattro ESEM від компанії Thermo Scientific поєднує в собі універсальні можливості аналізу та візуалізації з унікальним режимом навколишнього середовища (ESEM), що дозволяє вивчати зразки в їх природньому стані. Завдяки трьом режимам роботи вакуумної системи (високий вакуум, низький вакуум, ESEM) мікроскоп Quattro ESEM аналізує найширший спектр зразків з-поміж інших доступних SEM, включно з несумісними з вакуумом зразками (наприклад через виділення газів). Більше того, ESEM дає можливість проводити in situ аналіз зразків в природних умовах, таких як мокрі/ вологі, гарячі або реактивні середовища. Можливість одночасної SE та BSE візуалізації в усіх режимах роботи мікроскопа дозволяє отримати найбільш повну інформацію про кожен зразок.
Quattro ESEM є вдалим рішенням для широкого спектру промислових, академічних та державних лабораторій, що потребують простоти та універсальності аналізу, передбачають проведення мультидисциплінарних досліджень користувачами з різним досвідом роботи та шукають інструмент для проведення унікальних in situ експериментів.
- Роздільна здатність: до 0,8 нм при 30 кВ (SТEМ) при оптимальній робочій відстані в режимі високого вакууму
- Діапазон струму пучка: від 1 пА до 200 нА
- Діапазон прискорюючої напруги: 200 В – 30 кВ
- Діапазон енергії падіння: 20 еВ – 30 кеВ з додатковим гальмуванням пучка
- Збільшення: від 6 до 2 500 000×
- Внутрішня ширина: 340 мм
- Аналітична робоча відстань 10 мм
- Кількість портів: 12
- Кут виходу для детектора EDS: 35°
- Можлива одночасне підключення трьох детекторів EDS, два під 180°
- Копланарна EDS / EBSD, ортогонально осі нахилу столика
- 9-ти контактне підключення для подачі струму на зразок
Quattro одночасно виявляє до чотирьох сигналів з будь-якої комбінації доступних детекторів або сегментів детектора:
- Детектор вторинних електронів Еверхарта – Торнлі (ETD)
- Детектор вторинних електронів для низького вакууму (LVD)
- Газовий детектор SED (GSED) вторинних електронів для режиму ESEM
- ІЧ-камера для візуального огляду зразка в робочій камері
- Nav-Cam™: кольорова оптична навігаційна камера*
- Висувний або монтований на лінзу сегментований підлінзовий детектор зворотньо-розсіяних електронів (DBS)*
- Монтований на лінзу газовий аналітичний детектор зворотньо-розсіяних електронів (DBS-GAD)*
- Висувний детектор для просвітлювальної мікроскопії з сегментами BS, 4 DF, 6 HADF (STEM 3+, лише для Quattro S SEM)*
- Інтегрована в STEM платформа Пельтьє для спостереження за тонкими вологими зразками (WetSTEM™, лише для Quattro S SEM)
- Детектор катодолюмінесценції для спостереження в натуральному кольорі (RGB-CLD)*
- Внутрішньоколонний детектор для режиму уповільнення пучка (ICD, лише для Quattro S SEM)*
- Вимірювання струму пучка*
* – опціонально
- Турбомолекулярний насос 250 л/с
- Форвакуумний насос
- Два іонно-гетерних насоси
- Час відкачки: ≤ 3,5 хв до високого вакууму, ≤ 3,5 хв до ESEM
| Quattro C | Quattro S | |
|---|---|---|
| Тип | Установлена на дверцята, високоточна 5-осьова моторизована платформа, з пʼєзоприводом осі XYR | Установлена на робочу камеру, ультра стабільна 5-осьова повністю пʼєзо моторизована платформа |
| XY | 55 x 55 мм | 110 x 110 мм |
| Відтворюваність | ||
| Моторизована Z | ||
| Обертання | ||
| Нахил | ||
| Максимальна вага зразка | ||
| Максимальний розмір зразка | ||