Система детектування EDS від Oxford Instruments

Система детектування EDS від Oxford Instruments

Энергодисперсионный рентгеновская спектроскопия (EDS) – метод исследования элементного состава твердых образцов, в основе которого лежит анализ энергии излучения в рентгеновском диапазоне.

Сфокусированным пучком электронов с заданной энергией возбуждаются атомы объекта исследования. Фиксируя, после возбуждения полученный рентгеновский спектр, и проанализировав его, получаем информацию качественного и количественного состава образца.

Метод EDS используют для исследования объектов в сканирующем или трансмиссионном электронном микроскопах (SEM и TEM).

Детектори EDS Ultim Max та Ultim Extreme від компанії Oxford Instruments це наступне покоління кремнієвих дрейфових детекторів (SDD), які поєднують в собі великі розміри датчиків (до 170мм2 ) та Extreme Electronics (виявлення рентгенівського випромінювання з низьким рівнем шуму), що забезпечує безпрецедентну швидкість і чутливість.

  • Можлива робота при енергіях менше 2 кВ, що дозволяє отримати просторову роздільну здатність нижче 10 нм в об’ємних зразках.
  • Гарантовані характеристики розділення за енергією (127еВ, Mn Кα)
  • Типове розділення за енергією – 125еВ на лініях Mn Кα
  • Зовнішній діаметр трубки детекторів не залежить від площі кристалів і дозволяє максимально наблизитися до зразка – так само, як і з кристалами малого діаметра.
  • Гарантовані характеристики розділення по енергії не залежать від площі кристалів.
  • Визначення будь-яких елементів від літію (Li)
  • Не вимагають рідкого азоту для охолодження – тільки підключення до електроенергії
  • Охолодження на першу вимогу, за секунди
 Ultim MaxUltim Extrime
Активна площа кристала40 мм2, 65 мм2, 100мм2 і 170 мм2100 мм2
Конфігурація без вікон (підвищення чутливості виявлення легких елементів)НіТак
Наявність Extreme Electronics (низькошумна електроніка для детектування і аналізу рентгенівського випромінювання)ТакТак
Сильфонне під’єднання до SEMТакТак
Моторизований слайдер (автоматично висуває детектор при занадто великому потоці електронів на малих збільшеннях)ТакТак
Кількісний аналіз> 400 000 CPS> 400 000 CPS
Рентгенографічне картування> 1 000 000 CPS> 1 000 000 CPS
Аналіз легких елементів (робота при зниженні енергії посадки електронів з 5 кВ до 3,5 кВ)Так , тільки з великими датчиками: 100 мм2 і 170 мм2Так (від літію)
Наявність TruMap (контроль артефактів в рентгенівських спектрах та можливість розділення елементів, що накладаються)ТакТак

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: