Скануючі електронні мікроскопи Apreo™ 2 SEM

Скануючі електронні мікроскопи Apreo™ 2 SEM

Cкануючий електронний мікроскоп Apreo 2 від компанії FEI (Thermo Scientific) – друге покоління скануючих електронних мікроскопів з унікальною технологією, в якій поєднано два методи формування пучка в тонкий зонд: електромагнітні лінзи та магнітна імерсія. Електронна колона з джерелом польової емісії Шоттки забезпечує стабільні високі струми в поєднанні з високою роздільною здатністю. Така особливість конструкції даного SEM дозволяє отримати розділення до 1,0 нм при 1 кВ (без використання уповільнення пучка), а також виконувати енергетичну і зарядову фільтрацію сигналів. Окрім цього друге покоління мікроскопів Apreo підтримує такі технології як FLASH (автоматичне фокусування на вибраній зоні в “один клік”, що працює для усіх детекторів наявних у системі), ColorSEM (кількісний елементний аналіз зразків за допомогою EDS у режимі реального часу із побудовою елементної карти), а також має унікальну систему внутрішньолінзових (T1, T2) та внутрішньоколонних (Т3) детекторів зворотньо розсіяних електронів, що забезпечують підвищенний рівень поверхневої деталізації та контрасту знімків.

Всі описані переваги робить Apreo 2 SEM зручною платформою для досліджень наночастинок, каталізаторів, порошків і нанопристроїв, без впливу на магнітні властивості зразків. Продаж від офіційного дистриб’ютора в Україні компанії Новації.

– Роздільна здатність у режимі високого вакууму:

  • 0.8 нм при 1 кВт та режимом уповільнення ел. пучка;
  • 0.5 нм при 15 кВт та режимом уповільнення ел. пучка;
  • 0.7 нм при 30 кВт (STEM-детектор)*

– Роздільна здатність у режимі низького вакууму (при 30 Па):

  • 1.8 нм при 3 кВт;
  • 1.2 нм при 15 кВт.
  • Діапазон струму пучка: від 1 пА до 400 нА.
  • Діапазон прискорюючої напруги: 200 В – 30 кВ.

* опціонально

  • Ширина: 340 мм.
  • Аналітична робоча відстань 10 мм.
  • Кількість портів: 12.
  • Кут виходу для детектора EDS: 35°.
  • Можливість одночасного підключення 3х детекторів EDS.
  • Потрійна система детектувания (внутрішньолінзова і всередині колони):
  • Т1 – нижній внутрішньолінзовий детектор, розділений на сегменти;
  • Т2 – верхній внутрішньолінзовий детектор;
  • T3 – детектор всередині колони.
  • ETD – детектор вторинних електронів.
  • DBS – висувний сегментований детектор зворотньо-розсіяних електронів.
  • Детектор вторинних електронів для низького вакууму.
  • DBS-GAD, що монтується на лінзу газового аналітичного детектору зворотньо-розсіяних електронів
  • STEM 3+ – висувний сегментований детектор для просвітлювальної мікроскопії (BS, DF, HADF, HAADF).
  • ІЧ камера для контролю зразків.
  • Nav-Cam + цифрова камера для простоти маніпуляції зі зразком.
  • Безмасляна вакуумна система.
  • 1х240 л / с ТМП (турбомолекулярний насос).
  • 1хPVP (форвакуумний насос).
  • Два іонно-геттерних насоса.
  • Рівень вакуума в камері (високий) <6,3х10– 6 мбар (після 12 годин відкачки).
  • Час відкачки: ≤3,5 хв.
  • Режим низького вакуума (опціонально).
  • Тиск в камері при низькому вакуумі від 10 до 500 Па.

Евцентрична гоніометрична платформа, моторизована по 5 осях:

  • XY (діапазон рухливості): 110 x 110 мм;
  • Z (діапазон рухливості): 65 мм;
  • Обертання: n x 360°;
  • Нахил: від -15 до +90°
  • Максимальна висота зразка: 85 мм до евцентричної точки;

Максимальна маса зразка: 500 г в будь-якому положенні, до 5 кг при відсутності нахилу

Максимальний розмір зразка: 122 мм (діаметр) зі збереженням рухливості по усіх осях.

Якщо ви знайшли помилку, будь ласка, виділіть фрагмент тексту та натисніть Ctrl+Enter.

Повідомити про помилку

Текст, який буде надіслано нашим редакторам: