Кваліфікація чистих приміщень згідно до ISO
Міжнародна організація з стандартизації (ISO) розробляє стандарти концентрації частинок в чистих приміщеннях. ISO 14644-1 встановлює стандартні класи чистоти повітря для чистих приміщень та чистих зон на основі визначених концентрацій повітряних часток. Кваліфікація чистих приміщень включає підрахунок частинок за класом ISO показані в ТАБЛИЦІ
| CLASS | NUMBER OF PARTICLES PER CUBIC METER BY MICROMETER SIZE | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1.0 μm | 5.0 μm | |
| ISO 1 | 10 | - | - | - | - | - |
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | - | - | - |
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | - | - |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | - | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| ISO 8 | - | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| ISO 9 | - | - | - | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
Оцінка і сертифікація чистого приміщення
Сертифікація чистого приміщення відбувається після будівництва чи значних фізичних змін. Сертифікація гарантує, що установка відповідає вимогам щодо допустимих максимальних концентрацій частинок, що містяться в повітрі. Сертифікація чистого приміщення може відбуватися в будь-якому з трьох різних етапів: як побудовано, в оснащеному чи функціональному стані.
Щоб отримати додаткову інформацію, зверніться до документації ISO 14644.
