Сканувальні електронні мікроскопи SEM5000Х

• Незрівнянна роздільна здатність
• Механічний евцентричний предметний столик
• Режим подвійного сповільнення пучка (Duo-Dec)
• Шлюз для завантаження/заміни зразків (сумісний з 8 дюймами)
• Висока стабільність
• Відмінна можливість розширення

Електронна оптика
Оновлення об’єктивної лінзи Хроматична аберація лінзи зменшена на 12%, сферична аберація лінзи зменшена на 20%, а загальна аберація зменшена на 30%.
Технологія подвійного сповільнення пучка Внутрішньолінзове сповільнення пучка, що застосовується до зразків з великими об’ємами, поперечними зрізами та нерівними поверхнями. Технологія подвійного сповільнення (внутрішньолінзове сповільнення пучка + тандемне сповільнення пучка на предметному столику) розширює межі можливостей фіксації сигналу з поверхні зразка.

Зображення з високою роздільною здатністю при низькій напрузі

Внутрішньолінзовий електронний детектор

Детектор Еверхарта-Торнлі (ETD)

Висувний детектор зворотньо-розсіяних електронів (BSED)

Режим ECCI на основі BSED (Візуалізація електронного канального контрасту)
“Ефект каналювання електронів” означає значне зменшення розсіювання електронів кристалічними ґратками, коли падаючий електронний пучок задовольняє умові дифракції Брегга, що дозволяє великій кількості електронів проходити крізь ґратку, демонструючи таким чином ефект “каналювання”.
Для полікристалічних матеріалів з однорідним складом та полірованою пласкою поверхнею інтенсивність зворотньо-розсіяних електронів залежить від відносної орієнтації між падаючим електронним пучком та кристалічними площинами. Зерна з більшою варіацією орієнтації демонструють сильніші сигнали, а отже, яскравіші зображення; таким чином досягається якісна характеристика з картою орієнтації зерен.

Одночасна багатоканальна візуалізація за допомогою різних детекторів
Досягнуто високої роздільної здатності топографічних особливостей поверхні за допомогою візуалізації внутрішньолінзовим електронним детектором.

Висувний детектор сканувальної просвічуючої електронної мікроскопії (STEM)
Кілька режимів роботи: Візуалізація у світлому полі (BF), Візуалізація у темному полі (DF), Візуалізація у висококутовому кільцевому темному полі (HAADF)

Досягнення CIQTEK в електронній мікроскопії – Більше опцій

• Енергодисперсійна спектрометрія
• Катодолюмінесценція
• EBSD

Аналіз частинок та пор (опційно)
Програмне забезпечення мікроскопа СЕМ від CIQTEK використовує різноманітні алгоритми виявлення та сегментації об’єктів, що підходять для різних типів зразків частинок та пор. Воно дозволяє проводити кількісний аналіз статистичних даних про частинки та пори і може застосовуватися в таких галузях, як матеріалознавство, геологія та наука про навколишнє середовище.

Програмне забезпечення для постобробки зображень
Дозволяє виконувати онлайн- або офлайн-постобробку зображень, отриманих електронними мікроскопами, та об’єднує в собі поширені функції обробки зображень для ЕМ, а також зручні інструменти для вимірювання та анотування.

Автоматичне вимірювання (опційно)
Автоматичне розпізнавання країв ліній, що забезпечує більш точні вимірювання та вищу узгодженість результатів. Підтримує кілька режимів виявлення країв, таких як Лінія (Line), Проміжок (Space), Крок (Pitch) тощо. Сумісне з багатьма форматами зображень та оснащене різноманітними поширеними функціями постобробки. Програмне забезпечення є простим у використанні, ефективним та точним.

Комплект для розробки програмного забезпечення (опційно)
Надає набір інтерфейсів для керування мікроскопом СЕМ, включно з отриманням зображень, налаштуванням робочих умов, увімкненням/вимкненням живлення, керуванням предметним столиком тощо. Лаконічні визначення інтерфейсів дозволяють швидко розробляти спеціалізовані скрипти та програмне забезпечення для керування електронним мікроскопом, уможливлюючи автоматичне відстеження окремих областей (regions of interest), збір даних для промислової автоматизації, корекцію дрейфу зображення та інші функції. Може використовуватися для розробки ПЗ у спеціалізованих галузях, таких як перевірка домішок у сталі, аналіз чистоти, контроль сировини тощо.

Автоматичне картування (опційно)