Режим низького вакууму
У режимі низького вакууму можна досягти діапазону 10-180 Па без використання апертури обмеження тиску. Спеціально розроблена вакуумна камера об’єктива мінімізує середню довжину вільного пробігу електронів в умовах низького вакууму та дозволяє досягти роздільної здатності 1.5 нм при 30 кВ у цьому режимі.
Емісія вторинних електронів з поверхні зразка іонізує молекули повітря та одночасно генерує електрони, іони та фотони. Утворені електрони далі іонізують інші молекули повітря, а детектор вторинних електронів низького вакууму (LVD) вловлює велику кількість фотосигналів, що утворюються в цьому процесі.
Падаючий електронний пучок іонізує молекули повітря на поверхні зразка, утворюючи електрони та іони. Ці іони нейтралізують заряд на поверхні, таким чином зменшуючи ефект зарядження.
Аналіз частинок та пор (опційно)
Програмне забезпечення мікроскопа СЕМ від CIQTEK використовує різноманітні алгоритми виявлення та сегментації об’єктів, що підходять для різних типів зразків частинок та пор. Воно дозволяє проводити кількісний аналіз статистичних даних про частинки та пори і може застосовуватися в таких галузях, як матеріалознавство, геологія та наука про навколишнє середовище.
Програмне забезпечення для постобробки зображень
Дозволяє виконувати онлайн- або офлайн-постобробку зображень, отриманих електронними мікроскопами, та об’єднує в собі поширені функції обробки зображень для ЕМ, а також зручні інструменти для вимірювання та анотування.
Автоматичне вимірювання (опційно)
Автоматичне розпізнавання країв ліній, що забезпечує більш точні вимірювання та вищу узгодженість результатів. Підтримує кілька режимів виявлення країв, таких як Лінія (Line), Проміжок (Space), Крок (Pitch) тощо. Сумісне з багатьма форматами зображень та оснащене різноманітними поширеними функціями постобробки. Програмне забезпечення є простим у використанні, ефективним та точним.
Комплект для розробки програмного забезпечення (опційно)
Надає набір інтерфейсів для керування мікроскопом СЕМ, включно з отриманням зображень, налаштуванням робочих умов, увімкненням/вимкненням живлення, керуванням предметним столиком тощо. Лаконічні визначення інтерфейсів дозволяють швидко розробляти спеціалізовані скрипти та програмне забезпечення для керування електронним мікроскопом, уможливлюючи автоматичне відстеження окремих областей (regions of interest), збір даних для промислової автоматизації, корекцію дрейфу зображення та інші функції. Може використовуватися для розробки ПЗ у спеціалізованих галузях, таких як перевірка домішок у сталі, аналіз чистоти, контроль сировини тощо.
Автоматичне картування (опційно)
| Сканувальний електронний мікроскоп EM4000PRO FESEM | ||
| Електронна оптика | Роздільна здатність | |
| Високий вакуум | 0.9 нм при 30 кВ, SE | |
| Низький вакуум | 2.5 нм при 30 кВ, BSE, 30 Па 1.5 нм при 30 кВ, SE, 30 Па | |
| Прискорююча напруга | 0.2 кВ ~ 30 кВ | |
| Збільшення (Polaroid) | 1 ~ 1,000,000 x | |
| Тип електронної гармати | Електронна гармата з польовою емісією (типу Шотткі) | |
| Камера зразків | Низький вакуум | Макс. 180 Па |
| Камера | Подвійна камера (Оптична навігація + моніторинг камери) | |
| Діапазон XY | 110 мм | |
| Діапазон Z | 65 мм | |
| Діапазон T | -10° ~ +70° | |
| Діапазон R | 360° | |
| Детектори та розширення | Стандартно | Детектор Еверхарта-Торнлі (ETD) Детектор низького вакууму (LVD) Детектор зворотньо-розсіяних електронів (BSED) |
| Опціонально | Висувний детектор сканувальної просвічуючої електронної мікроскопії (STEM) Енергодисперсійний спектрометр (EDS / EDX) Дифракція зворотньо-розсіяних електронів (EBSD) Шлюз для завантаження/заміни зразків (4 дюйми / 8 дюймів) Панель керування з трекболом та ручками | |
| Інтерфейс | Мова | Англійська |
| ОС | Windows | |
| Навігація | Оптична навігація, Швидка навігація жестами, Трекбол (опціонально) | |
| Автоматичні функції | Автоматична яскравість та контраст, Автофокус, Автостигматор | |