Високошвидкісний СЕМ від CIQTEK – HEM6000
Високошвидкісний Скануючий Електронний Мікроскоп HEM6000 з польовою емісією – отримання результатів у 5 разів швидше
CIQTEK HEM6000 поєднує такі технології, як електронна гармата високої яскравості, високошвидкісна система відхилення електронного пучка, гальмування пучка на предметному столику, динамічна оптична вісь та імерсійна об’єктивна лінза, що забезпечують одночасно високошвидкісне отримання зображень та високу роздільну здатність.
Автоматизований робочий процес забезпечує ефективну швидкісну візуалізацію великих ділянок, полегшуючи і оптимізуючи роботу оператора. Швидкість роботи CIQTEK HEM6000 перевищує швидкість роботи звичайного електронного мікроскопа з польовою емісією у понад п’ять разів.
Візуалізація мікросхеми
2,000x | Режим зйомки у зворотно розсіяних електронах | 40 наносекунд на піксель
Візуалізація гістологічного зрізу біопсії
10,000x | Режим зйомки у зворотно розсіяних електронах | 120 наносекунд на піксель
Високошвидкісний сканувальний драйвер
Час накопичення (Dwell time) 10 нс/піксель, максимальна швидкість отримання зображення 2*100 М піксель/с
Система фільтрації сигнальних електронів
Вільне перемикання сигналів SE/BSE, змішування з регульованим співвідношенням
Повністю електростатична високошвидкісна система відхилення пучка
Досяжне отримання зображень великого поля з високою роздільною здатністю, максимальне поле огляду до 64×64 мкм при 4 нм на піксель
Технологія гальмування пучка на предметному столику
Зменшує кінцеву напругу падіння електронів, збільшуючи ефективність захоплення сигнальних електронів
Імерсійна електромагнітно-електростатична комбінована об’єктивна лінза
Магнітне поле об’єктива охоплює зразок, що сприяє отриманню зображень з низькою аберацією та високою роздільною здатністю
| HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lit |
| Низька напруга та висока роздільна здатність | Низька напруга та висока роздільна здатність | Спрощене керування |
| Велике поле огляду | Різноманітні автоматизовані алгоритми для біологічної галузі | Широкий вибір опцій |
| Спеціально оптимізовані алгоритми для легкого юстування зразків, що часто повторюються | Детектор BSE, оптимізований для біологічних застосувань | Високошвидкісний автоматизований робочий процес |
| П’ятиступеневе електростатичне відхилення | Система біологічної 3D-реконструкції |
Високошвидкісна автоматизація
Повністю автоматизовані процеси завантаження/вивантаження зразків та отримання зображень, що робить загальну швидкість візуалізації в 5 разів вищою, ніж у звичайного ПЕ-СЕМ.
Велике поле огляду
Технологія, що динамічно зміщує оптичну вісь відповідно до діапазону сканувального відхилення, досягає мінімального викривлення країв зображення.
Низьке спотворення зображення
Технологія тандемного гальмування пучка на предметному столику, що дозволяє мінімізувати енергію падіння електронів і одночасно забезпечити високу роздільну здатність.
| Високошвидкісний СЕМ HEM6000 | |||
| Характеристика | HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lite |
| ЕЛЕКТРОННА ОПТИКА | |||
| Роздільна здатність | 1.5 нм при 1 кВ, SE | 1.8 нм при 1 кВ, BSE | 1.5 нм при 15 кВ, BSE |
| Прискорювальна напруга | 0.1 кВ ~ 6 кВ (Режим гальмування) | 6 кВ ~ 30 кВ (Режим без гальмування) | 6 кВ ~ 30 кВ |
| Збільшення | 66 ~ 1,000,000 x | ||
| Електронна гармата | Електронна гармата з польовою емісією (типу Шотткі) високої яскравості | ||
| Тип об’єктивної лінзи | Імерсійна електромагнітно-електростатична комбінована об’єктивна лінза | ||
| Електростатичний дефлектор | П’ятиступеневий | Чотириступеневий | Чотириступеневий |
| СИСТЕМА ЗАВАНТАЖЕННЯ ЗРАЗКІВ | |||
| Вакуумна система | Повністю автоматична безмасляна вакуумна система | ||
| Огляд зразків | Горизонтальна оглядова камера робочої зони; вертикальна оглядова камера секції заміни зразків | ||
| Макс. розмір зразка | 4 дюйми в діаметрі | ||
| Тип предметного столика | Моторизований 3-вісний (*опціонально п’єзоелектричний) | ||
| Діапазон руху столика | X, Y: 110 мм; Z: 16 мм | ||
| Відтворюваність | X: ±0.6 мкм; Y: ±0.3 мкм | ||
| Заміна зразка | Повністю автоматизована | ||
| Тривалість заміни зразка | < 15 хвилин | ||
| Очищення шлюзового відсіку | Повністю автоматизована система плазмової очистки | ||
| ОТРИМАННЯ ТА ОБРОБКА ЗОБРАЖЕНЬ | |||
| Час накопичення (Dwell Time) | 10 нс/піксель | ||
| Швидкість отримання | 2*100 М піксель/с | ||
| Розмір зображення | 16 K * 16 K | ||
| ДЕТЕКТОРИ ТА АКСЕСУАРИ | |||
| Висувний детектор BSED | Опціонально | Немає | Стандартно |
| Стаціонарний детектор BSED | Опціонально | Стандартно | Немає |
| Внутрішньоколонний детектор електронів | Стандартно | Опціонально | Опціонально |
| Внутрішньоколонний детектор BSED | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Предметний столик з п’єзоелектричним приводом | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Режим високої розд. здатності та великого поля огляду (ПЗ) | Опціонально | Немає | Немає |
| Система плазмової очистки шлюзової камери | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Система завантаження 6-дюймових зразків | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Активна антивібраційна платформа | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Зниження шуму (ШІ); Зшивання великих ділянок; 3D-реконструкція | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| ІНТЕРФЕЙС КОРИСТУВАЧА | |||
| Мова | Англійська | ||
| ОС | Windows | ||
| Навігація | Оптична навігація, навігація жестами | ||
| Автоматичні функції | Автоматичне розпізнавання зразка, автоматичний вибір області візуалізації, автоматична яскравість та контраст, автофокус, автостигматор | ||