Сканувальні електронні мікроскопи HEM6000
Високошвидкісний СЕМ HEM6000 з польовою емісією
CIQTEK HEM6000 використовує такі технології, як електронна гармата високої яскравості з великим струмом пучка, високошвидкісна система відхилення електронного пучка, сповільнення на предметному столику під високою напругою, динамічна оптична вісь та імерсійна електромагнітно-електростатична комбінована об’єктивна лінза для досягнення високошвидкісного отримання зображень, забезпечують нанорозмірну роздільну здатність.
Автоматизований робочий процес розроблений для таких завдань, як більш ефективний та інтелектуальний робочий процес візуалізації великих площ з високою роздільною здатністю. Його швидкість візуалізації більш ніж у п’ять разів перевищує швидкість звичайного сканувального електронного мікроскопа з польовою емісією (ПЕ-СЕМ).
Високошвидкісний сканувальний драйвер
Час затримки (Dwell time) 10 нс/піксель, максимальна швидкість отримання зображення 2*100 М піксель/с
Система фільтрації сигнальних електронів
Вільне перемикання сигналів SE/BSE, змішування з регульованим співвідношенням
Повністю електростатична високошвидкісна система відхилення пучка
Досяжне отримання зображень великого поля з високою роздільною здатністю, максимальне поле огляду до 64×64 мкм при 4 нм на піксель
Технологія сповільнення на предметному столику
Зменшує кінцеву напругу падіння електронів, збільшуючи ефективність захоплення сигнальних електронів
Імерсійна електромагнітно-електростатична комбінована об’єктивна лінза
Магнітне поле об’єктива “занурює” зразок (immerses sample), що сприяє отриманню зображень з низькою аберацією та високою роздільною здатністю
| HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lit |
| Низька напруга та висока роздільна здатність | Низька напруга та висока роздільна здатність | Спрощене керування |
| Велике поле огляду | Різноманітні автоматизовані алгоритми для біологічної галузі | Широкий вибір опцій |
| Спеціально оптимізовані алгоритми для легкого юстування зразків, що часто повторюються | Детектор BSE, оптимізований для біологічних застосувань | Високошвидкісний автоматизований робочий процес |
| П’ятиступеневе електростатичне відхилення | Система біологічної 3D-реконструкції |
Високошвидкісна автоматизація
Повністю автоматичний процес завантаження та вивантаження зразків та операція отримання зображення, що робить загальну швидкість візуалізації в 5 разів вищою, ніж у звичайного ПЕ-СЕМ.
Велике поле огляду
Технологія, що динамічно зміщує оптичну вісь відповідно до діапазону сканувального відхилення, досягає мінімального викривлення країв..
Низьке спотворення зображення
Технологія тандемного сповільнення на предметному столику, що дозволяє досягти низької енергії падіння (електронів), одночасно отримуючи зображення з високою роздільною здатністю.
| Високошвидкісний СЕМ HEM6000 | |||
| Характеристика | HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lite |
| ЕЛЕКТРОННА ОПТИКА | |||
| Роздільна здатність | 1.5 нм при 1 кВ, SE | 1.8 нм при 1 кВ, BSE | 1.5 нм при 15 кВ, BSE |
| Прискорююча напруга | 0.1 кВ ~ 6 кВ (Режим сповільнення) | 6 кВ ~ 30 кВ (Режим без сповільнення) | 6 кВ ~ 30 кВ |
| Збільшення | 66 ~ 1,000,000 x | ||
| Електронна гармата | Електронна гармата з польовою емісією (типу Шотткі) високої яскравості | ||
| Тип об’єктивної лінзи | Імерсійна електромагнітно-електростатична комбінована об’єктивна лінза | ||
| Електростатичний дефлектор | П’ятиступеневий | Чотириступеневий | Чотириступеневий |
| СИСТЕМА ЗАВАНТАЖЕННЯ ЗРАЗКІВ | |||
| Вакуумна система | Повністю автоматична безмасляна вакуумна система | ||
| Моніторинг зразків | Горизонтальна камера моніторингу основної камери; вертикальна камера моніторингу шлюзу заміни зразків | ||
| Макс. розмір зразка | 4 дюйми в діаметрі | ||
| Тип предметного столика | Моторизований 3-осьовий (*опціонально п’єзоелектричний) | ||
| Діапазон ходу столика | X, Y: 110 мм; Z: 16 мм | ||
| Повторюваність столика | X: ±0.6 мкм; Y: ±0.3 мкм | ||
| Заміна зразка | Повністю автоматична | ||
| Тривалість заміни зразка | < 15 хвилин | ||
| Очищення шлюзової камери | Повністю автоматична система плазмової очистки | ||
| ОТРИМАННЯ ТА ОБРОБКА ЗОБРАЖЕНЬ | |||
| Час затримки (Dwell Time) | 10 нс/піксель | ||
| Швидкість отримання | 2*100 М піксель/с | ||
| Розмір зображення | 16 K * 16 K | ||
| ДЕТЕКТОРИ ТА АКСЕСУАРИ | |||
| Висувний низькокутовий детектор BSED | Опціонально | Немає | Стандартно |
| Низькокутовий детектор BSED (нижнє кріплення) | Опціонально | Стандартно | Немає |
| Внутрішньоколонний загальний електронний детектор | Стандартно | Опціонально | Опціонально |
| Внутрішньоколонний висококутовий детектор BSED | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Предметний столик з п’єзоелектричним приводом | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Режим вис. розд. здатності та вел. поля огляду (ПЗ) | Опціонально | Немає | Немає |
| Система плазмової очистки шлюзової камери | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Система завантаження 6-дюймових зразків | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Активна антивібраційна платформа | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| Зниження шуму (AI); Зшивання великих площ; 3D-реконструкція | Опціонально | Опціонально | Опціонально |
| ІНТЕРФЕЙС КОРИСТУВАЧА | |||
| Мова | Англійська | ||
| ОС | Windows | ||
| Навігація | Оптична навігація, навігація жестами | ||
| Автоматичні функції | Автоматичне розпізнавання зразка, автоматичний вибір області візуалізації, автоматична яскравість та контраст, автофокус, автостигматор | ||