SEM з катодом Шотткі
Лінійка мікроскопів з польовою емісією (FE-SEM/ПЕ-СЕМ) від CIQTEK – це передові аналітичні інструменти, оснащені електронними гарматами типу Шотткі. Вони забезпечують надвисоку роздільну здатність (аж до 0.6 нм), відмінну стабільність та гнучкість завдяки багатому вибору детекторів і технологій, таких як ультра-сповільнення пучка та “Super-Tunnel”. Серія ідеально підходить для передових досліджень наноструктурних матеріалів, напівпровідників, біологічних зразків та завдань, що вимагають високошвидкісного картування великих площ. Мікроскопи відрізняються високою роздільною здатністю при низькій напрузі, що дозволяє досліджувати непровідні матеріали з мінімальним ефектом зарядження. Передова електронна оптика використовує імерсійні лінзи та технології подвійного сповільнення пучка. Багатодетекторна система (SE, BSE) формує детальні стереозображення. Серія HEM пропонує візуалізацію у 5 разів швидше завдяки системі відхилення та автоматизації. Усі моделі підтримують розширення (EDS, EBSD, STEM, WDS) і шлюзи для зразків до 8 дюймів.
Серія поділяється на кілька моделей, адаптованих під специфічні аналітичні завдання:
SEM4000X / SEM4000PRO
Універсальні моделі з високою роздільною здатністю, де PRO-версія оптимізована для роботи з непровідними зразками у низькому вакуумі завдяки триступеневій електромагнітній лінзі.
SEM5000X / SEM5000PRO
Флагманські моделі для дослідження наноструктур. Забезпечують надвисоку роздільну здатність завдяки оптиці “Super-Tunnel” та внутрішньолінзовому сповільненню пучка.
HEM6000
Серія високошвидкісних мікроскопів для картування великих площ, що включає спеціалізовані версії для напівпровідників (Semi), біологічних зразків (Bio) та базових завдань (Lite).
| Характеристика | SEM4000X | SEM4000PRO | SEM5000X | SEM5000PRO | HEM6000 (Високошвидкісний) |
|---|---|---|---|---|---|
| Цільове призначення | Універсальні завдання з високою роздільною здатністю | Аналітика, робота з непровідними зразками у низькому вакуумі | Надвисока роздільна здатність, наноструктури | Висока роздільна здатність при низькій напрузі збудження | Високошвидкісне картування великих площ |
| Електронна оптика | Стандартна ПЕ-оптика | Триступенева електромагнітна лінза | Оновлена об’єктивна лінза (аберації зменшено на 30%) | Оптика “Super-Tunnel”, без кросовера, комбінована лінза | Імерсійна комбінована об’єктивна лінза |
| Режими сповільнення пучка | Режим ультра-сповільнення | Не вказано | Подвійне сповільнення (Duo-Dec) | Внутрішньолінзове сповільнення | Сповільнення на предметному столику |
| Особливі технології | Детектор у камері з кристалічним сцинтилятором | Спеціалізований режим низького вакууму (10-180 Па) без апертури | Режим ECCI (канальний контраст) | Режим ECCI, багатоотворна апертура з електромагнітним відхиленням | Динамічна зміна оптичної осі, система фільтрації сигналів |
| Функція ПЗ | Опис можливостей |
|---|---|
| Аналіз частинок та пор (опційно) | Алгоритми виявлення та сегментації для кількісного аналізу у матеріалознавстві, геології та екології. |
| Постобробка зображень | Онлайн/офлайн обробка, вимірювання, анотування та об’єднання зображень. |
| Автоматичне вимірювання (опційно) | Розпізнавання країв ліній (Line, Space, Pitch) для точних і узгоджених вимірювань. |
| Комплект розробки (SDK) (опційно) | Інтерфейси керування мікроскопом для написання спеціалізованих скриптів та промислової автоматизації. |
| Автоматичне картування (опційно) | Автоматичне зшивання зображень великих площ. |
| Ексклюзивні функції HEM6000 | Авторозпізнавання зразка, автоматичний вибір області візуалізації. Опційно: Зниження шуму (AI), зшивання великих площ, 3D-реконструкція. |
| SEM4000X | SEM4000PRO | SEM5000X | SEM5000PRO | HEM6000 (Серія) | |
|---|---|---|---|---|---|
|
Зображення
|
|
|
|
|
|
| Роздільна здатність (SE) |
0.9 нм (30 кВ) 1.0 нм (15 кВ) 1.8 нм (1 кВ) 1.5 нм (1 кВ, ультра-спов.) |
0.9 нм (30 кВ) Низький вакуум: 1.5 нм (30 кВ, 30 Па) |
0.6 нм (15 кВ) 1.0 нм (1 кВ) |
0.7 нм (15 кВ) 1.1 нм (1.0 кВ) |
1.5 нм (1 кВ) |
| Роздільна здатність (BSE) | — | Низький вакуум: 2.5 нм (30 кВ, 30 Па) | — | — |
1.8 нм (1 кВ) 1.5 нм (15 кВ) |
| Прискорююча напруга | 0.2 кВ ~ 30 кВ | 0.2 кВ ~ 30 кВ | 0.02 кВ ~ 30 кВ | 0.02 кВ ~ 30 кВ |
0.1 кВ ~ 6 кВ (із сповільненням) 6 кВ ~ 30 кВ |
| Збільшення | 1x ~ 1 000 000x | 1x ~ 1 000 000x | 1x ~ 2 500 000x | 1x ~ 2 500 000x | 66x ~ 1 000 000x |
| Предметний столик | 5-осьовий | 5-осьовий | 5-осьовий евцентричний | 5-осьовий | 3-осьовий моторизований (опц. п’єзо) |
| Діапазон переміщення |
X, Y: 110 мм Z: 65 мм T: -10° ~ +70°, R: 360° |
X, Y: 110 мм Z: 65 мм T: -10° ~ +70°, R: 360° |
X, Y: 110 мм Z: 65 мм T: -10° ~ +70°, R: 360° |
X, Y: 110 мм Z: 65 мм T: -10° ~ +70°, R: 360° |
X, Y: 110 мм Z: 16 мм |
| Стандартні детектори | UD-BSE/UD-SE (внутрішньоколонний), LD (ETD) | ETD, LVD (низький вакуум), BSED | Внутрішньолінзовий, ETD | Внутрішньолінзовий, ETD | Залежить від версії (Низькокутовий BSED у версії Lite) |
| Опційні детектори / Розширення | BSED, STEM, LVD, EDS/EDX, EBSD | STEM, EDS/EDX, EBSD | BSED, STEM, LVD, EDS/EDX, EBSD, Duo-Dec | BSED, STEM, LVD, EDS/EDX, EBSD | BSED загальний, Внутрішньоколонний висококутовий BSED |
| Швидкість отримання (HEM) | — | — | — | — | 2*100 М піксель/с (Dwell time 10 нс/пікс) |
| Характеристика | HEM6000-Semi | HEM6000-Bio | HEM6000-Lite |
|---|---|---|---|
| Основний акцент | Високошвидкісний автоматизований робочий процес | Різноманітні автоматизовані алгоритми для біології | Спрощене керування, широкі можливості розширення |
| Ключові переваги | Низька напруга та висока роздільна здатність | Низька напруга та висока роздільна здатність | Велике поле огляду |
| Оптимізація | Алгоритми для зразків, що часто повторюються | Детектор BSE, оптимізований для біологічних застосувань | — |
| Система відхилення | П’ятиступенева електростатична | Чотириступенева електростатична | Чотириступенева електростатична |
| Унікальні модулі | — | Система біологічної 3D-реконструкції | — |