Система детектирования WDS Oxford Instruments

Метод рентгеновской спектроскопии волновой дисперсии (WDS) — аналитическая методика элементного анализа твердых веществ, основанный на анализе максимумов за их размещением (длины волны эмиссии) и интенсивностью ее рентгеновского спектра. С помощью WDS методики, при исследовании объектов в сканирующем электронном микроскопе (SEM), возможно количественно и качественно определять элементы начиная с Бериллия.

Энергетический спектр рентгеновского излучения, полученный от возбужденных электронным лучом атомов, раскладывают с помощью дифракции на кристаллах по различным участкам в зависимости от длины волны. При этом для анализа спектрометр настроен только на одну длину волны и только одного элемента. Такая методика дает на порядок более высокую чувствительность и спектральную разрешение чем метод EDS. Однако WDS уступает EDS в скорости анализа всего образца, ведь невозможно промерять сразу весь рентгеновский спектр, так что нет возможности быстрого одновременного анализа всех элементов, имеющихся в объекте.