Система детектування EDS від Oxford Instruments
Енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія (EDS) – метод дослідження елементного складу твердих зразків, в основі якого лежить аналіз енергії випромінювання в рентгенівському діапазоні.
Сфокусованим пучком електронів із заданою енергією збуджуються атоми об’єкта дослідження. Фіксуючи після збудження отриманий рентгенівський спектр і проаналізувавши його, отримуємо інформацію щодо якісного та кількісного складу зразка.
Метод EDS використовують для дослідження об’єктів у скануючому або трансмісійному електронному мікроскопі (SEM і TEM).
Детектори EDS Ultim Max та Ultim Extreme від компанії Oxford Instruments це наступне покоління кремнієвих дрейфових детекторів (SDD), які поєднують в собі великі розміри датчиків (до 170мм2 ) та Extreme Electronics (виявлення рентгенівського випромінювання з низьким рівнем шуму), що забезпечує безпрецедентну швидкість і чутливість.
- Можлива робота при енергіях менше 2 кВ, що дозволяє отримати просторову роздільну здатність нижче 10 нм в об’ємних зразках.
- Гарантовані характеристики розділення за енергією (127еВ, Mn Кα)
- Типове розділення за енергією – 125еВ на лініях Mn Кα
- Зовнішній діаметр трубки детекторів не залежить від площі кристалів і дозволяє максимально наблизитися до зразка – так само, як і з кристалами малого діаметра.
- Гарантовані характеристики розділення по енергії не залежать від площі кристалів.
- Визначення будь-яких елементів від літію (Li)
- Не вимагають рідкого азоту для охолодження – тільки підключення до електроенергії
- Охолодження на першу вимогу, за секунди
| Ultim Max | Ultim Extrime | |
|---|---|---|
| Активна площа кристала | 40 мм2, 65 мм2, 100мм2 і 170 мм2 | 100 мм2 |
| Конфігурація без вікон (підвищення чутливості виявлення легких елементів) | Ні | Так |
| Наявність Extreme Electronics (низькошумна електроніка для детектування і аналізу рентгенівського випромінювання) | Так | Так |
| Сильфонне під’єднання до SEM | Так | Так |
| Моторизований слайдер (автоматично висуває детектор при занадто великому потоці електронів на малих збільшеннях) | Так | Так |
| Кількісний аналіз | > 400 000 CPS | > 400 000 CPS |
| Рентгенографічне картування | > 1 000 000 CPS | > 1 000 000 CPS |
| Аналіз легких елементів (робота при зниженні енергії посадки електронів з 5 кВ до 3,5 кВ) | Так , тільки з великими датчиками: 100 мм2 і 170 мм2 | Так (від літію) |
| Наявність TruMap (контроль артефактів в рентгенівських спектрах та можливість розділення елементів, що накладаються) | Так | Так |
