Система детектирования EDS Oxford Instruments
Энергодисперсионный рентгеновская спектроскопия (EDS) — метод исследования элементного состава твердых образцов, в основе которого лежит анализ энергии излучения в рентгеновском диапазоне.
Сфокусированным пучком электронов с заданной энергией возбуждаются атомы объекта исследования. Фиксируя, после возбуждения полученный рентгеновский спектр, и проанализировав его, получаем информацию качественного и количественного состава образца.
Метод EDS используют для исследования объектов в сканирующем или трансмиссионном электронном микроскопах (SEM и TEM).
Детекторы EDS Ultim Max и Ultim Extreme от компании Oxford Instruments это следующее поколение кремниевых дрейфовых детекторов (SDD), которые сочетают в себе большие размеры кристалов (до 170мм2) и Extreme Electronics (выявление рентгеновского излучения с низким уровнем шума), что обеспечивает беспрецедентную скорость и чувствительность.
- Возможна работа при энергиях менее 2 кВ, позволяет получить пространственное разрешение ниже 10 нм в объемных образцах.
- Гарантированные характеристики разделения по энергии (127эВ, Mn Кα)
- Типичное разделение по энергии — 125эВ на линиях Mn Кα
- Внешний диаметр трубки детекторов не зависит от площади кристаллов и позволяет максимально приблизиться к образцу — так же, как и с кристаллами малого диаметра.
- Гарантированные характеристики разделение по энергии не зависят от площади кристаллов.
- Определение любых элементов от лития (Li)
- Не требуют жидкого азота для охлаждения — только подключение к электроэнергии
- Охлаждение по первому требованию, за секунды
| Ultim Max | Ultim Extrime | |
|---|---|---|
| Активная площадь кристалла | 40 мм2, 65 мм2, 100мм2 і 170 мм2 | 100 мм2 |
| Конфигурация без окон (повышение чувствительности обнаружения легких элементов) | Нет | Да |
| Наличие Extreme Electronics (низькошумна электроника для детектирования и анализа рентгеновского излучения) | Да | Да |
| Сильфонная подключения к SEM | Да | Да |
| Моторизованный слайдер (автоматически выдвигает детектор при слишком большом потоке электронов на малых увеличениях) | Да | Да |
| Количественный анализ | > 400 000 CPS | > 400 000 CPS |
| Рентгенографическое картирование | > 1 000 000 CPS | > 1 000 000 CPS |
| Анализ легких элементов (работа при снижении энергии посадки электронов с 5 кВ до 3,5 кВ) | Да , только с большими датчиками 100 мм2 и 170 мм2 | Да (от лития) |
| Наличие TruMap (контроль артефактов в рентгеновских спектрах и возможность разделения элементов, налагаемых) | Да | Да |
