Система детектирования EBSD от AMETEK
Детекторы EBSD (Hikari Super EBSD camera и Velocity ™ EBSD Camera) от компании EDAX AMETEK обеспечивают высокоскоростное отражение EBSD картирования с самыми высокими показателями индексации на реальных материалах. Сочетают в себе быстрое получение данных с высокой чувствительностью и низким уровнем шума, гарантируя оптимальные условия для сбора и качества данных.
Метод EBSD (дифракция обратно рассеянных электронов), дополнительный метод определения параметров образца в сканирующем электронном микроскопе (SEM). EBSD позволяет определять тип и ориентацию кристаллической решетки локально в каждой точке образца. Локальность при изучении массивных образцов составляет около 30 нм.
EBSD незаменим при идентификации фаз в случаях, когда исследуемые фазы имеют близкий (или совсем одинаковый) состав, соответственно не идентифицируются благодаря энергодисперсионного спектрометра, но при этом имеют разное строение кристаллических решеток. Множество информации кроме фазовых и ориентационных карт может быть получено из массива данных, в котором записаны тип и ориентация кристаллической решетки для каждого пикселя на поверхности образца, выбранной для картирования.
Исследуя образцы пользователям больше не придется выбирать между скоростью и чувствительностью, поскольку серия камер EBSD (Hikari Super EBSD camera и Velocity ™ EBSD Camera) предлагает и высокую скорость и хорошую чувствительность.

- Скорость сбора данных до 4500 индексированных точек в секунду.
- Сбор данных EBSD проводятся за несколько минут.
- Картирование с получением полных спектральных данных EDS одновременно с данным EBSD, что упрощает повторный анализ и интерпретацию результатов.
- Четкая характеризация деформированных микроструктур со стандартным режимом индексирования.
Hikari Super EBSD camera | Velocity™ EBSD Camera | |
---|---|---|
Скорость картирование ориентации с одновременным индексированием | 1400 точек в секунду | Velocity ™ Plus до 3000 точек в секунду Velocity ™ Super до 4500 точек в секунду |
Рабочая ускоряющее напряжение | 5 кВ | 5 кВ |
Точность ориентации | Меньше 0,1 без специальных коррекционные процедуры | Меньше чем 0,1 без специальных коррекционные процедуры |
Размер изображения | 640 (В) х 480 (Ш) пикселей | 640 (В) х 480 (Ш) пикселей (Разрешение изображения с максимальной скоростью индексации 120 x 120 пикселей) |
Цифровой выход | 12-битный | 12-битный |
Сильфонная подключения к SEM | Да | Да |