Сканирующий электронный микроскоп Verios™ XHR SEM
Сканирующий электронный микроскоп Verios SEM от компании Thermo Scientific имеет уникальные технологии, такие как линзы постоянной силы для повышения термостабильности и электростатического сканирования, это позволяет получить результаты с высокой линейностью и субнанометровою точностью. Усовершенствованные возможности Verios использование низкие ускоряющие напряжения при исследованиях, а также источник электронов – полевая эмиссия Шоттки и иммерсионные магнитные линзы позволяют получение информацию о структуре поверхности образца с максимальным разрешением до 0,6нм.
SEM Verios удобно использовать для контроля качества на производстве полупроводников. С Verios удобно и быстро получать информацию об нано-узлах, что позволяет использовать его для научных работ, при управлении технологическом процессе, для создания различных материалов, при анализе дефектов.

- Возможный диапазон напряжения для ускорения пучка 350В по 30кВ
- Возможный диапазон тока пучка с 0,8пА по 100 нА
- Возможный диапазон рабочей энергии: от 20 эВ – 30 кэВ с дополнительным торможением пучка.
- Максимальное разрешение: с 0,6нм в диапазоне напряжений 2кВ-15кВ и при 30кВ (SТEМ).
- Возможная максимальная ширина поля в горизонтальной плоскости : 2,3мм при рабочем расстоянии 4мм.
- Возможное количество портов: 21.
- Внутренняя ширина: 379 мм.
- Возможное рабочее расстояние 4 мм.
- Камера ИК (возможность осмотреть образец / колонну.
- Детектор для анализа вторичных электронов Эверхарт – Торнли (ETD).
- Детектор для анализа прошедших электронов выдвижной с сегментами BF/DF/HAADF (для STEM)
- Детектор для анализа обратно – отраженных электронов, выдвижной, низковольтный, твердотельный (DBS).
- Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-ВSE).
- Детектор для анализа вторичных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-SE).
- Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов внутриколонный Elstar (MD).
- Детектор вторичных электронов внутриколонный Elstar (TLD-SE).
- Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-ВSE).
- Детектор для анализа вторичных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-SE).
- Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов внутриколонный Elstar (MD).
- Детектор вторичных электронов внутриколонный Elstar (TLD-SE).