Сканирующий электронный микроскоп Verios™ XHR SEM

Сканирующий электронный микроскоп Verios™ XHR SEM

Сканирующий электронный микроскоп Verios SEM от компании Thermo Scientific имеет уникальные технологии, такие как линзы постоянной силы для повышения термостабильности и электростатического сканирования, это позволяет получить результаты с высокой линейностью и субнанометровою точностью. Усовершенствованные возможности Verios использование низкие ускоряющие напряжения при исследованиях, а также источник электронов – полевая эмиссия Шоттки и иммерсионные магнитные линзы позволяют получение информацию о структуре поверхности образца с максимальным разрешением до 0,6нм.
SEM Verios удобно использовать для контроля качества на производстве полупроводников. С Verios удобно и быстро получать информацию об нано-узлах, что позволяет использовать его для научных работ, при управлении технологическом процессе, для создания различных материалов, при анализе дефектов.

  • Возможный диапазон напряжения для ускорения пучка 350В по 30кВ
  • Возможный диапазон тока пучка с 0,8пА по  100 нА
  • Возможный диапазон рабочей энергии: от 20 эВ – 30 кэВ с дополнительным торможением пучка.
  • Максимальное разрешение: с 0,6нм  в диапазоне напряжений 2кВ-15кВ и при 30кВ (SТEМ).
  • Возможная максимальная ширина поля в горизонтальной плоскости : 2,3мм при рабочем расстоянии 4мм.
  • Возможное количество портов: 21.
  • Внутренняя ширина: 379 мм.
  • Возможное рабочее расстояние 4 мм.
  • Камера ИК (возможность осмотреть образец / колонну.
  • Детектор для анализа вторичных электронов Эверхарт – Торнли (ETD).
  • Детектор для анализа прошедших электронов выдвижной с сегментами BF/DF/HAADF (для STEM)
  • Детектор для анализа обратно – отраженных электронов, выдвижной, низковольтный, твердотельный  (DBS).
  • Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-ВSE).
  • Детектор для анализа вторичных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-SE).
  • Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов внутриколонный Elstar (MD).
  • Детектор вторичных электронов внутриколонный Elstar (TLD-SE).
  • Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-ВSE).
  • Детектор для анализа вторичных электронов, внутрилинзовый Elstar (TLD-SE).
  • Детектор для анализа обратно – рассеянных электронов внутриколонный Elstar (MD).
  • Детектор вторичных электронов внутриколонный Elstar (TLD-SE).

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: