Электронно-ионные микроскопы Scios

Электронно-ионные микроскопы Scios

Электронно-ионные микроскопы Scios это двупучковые системы, которые позволяют одновременно проводить наноанализ различных образцов, получать изображения и делать подготовку образцов (травление, срезание слоев) с точностью работ в несколько нанометров. Производителем двупучковые системы Scios является лидер мирового рынка в электронной микроскопии — компания Thermo Scientific (в предыдущие годы FEI), официальный дистрибьютор в Украине ООО Новации.

Автоэмиссионная электронная колонна NICol – обеспечивает получение изображения объекта исследования в режиме высокоточного сканирующего микроскопа. Такой SEM позволяет достичь предельные значения разрешения до 0,8 нм при рабочих энергиях в 30 кВ. Это становится возможным благодаря определенным конструктивным решением разработчика:

Электронно-ионные микроскопы (FIB\STEM)| Исследования поверхности и состава | Новации
  • современное источник электронов – полевая эмиссия Шоттки;
  • обновленная автоматизированная система управления: автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствует возможность использования механического регулирования положением. Приведенные решения позволяют легко управлять колонной даже малоопытному оператору;
  • двухобьективная линза, состоящая из электромагнитных и электростатических линз
  • технология внутрилинзового внутриколонного детектирования Trinity – позволяет получить полную информацию из всех встроенных детекторов только за одно сканирование образца.

Обновленная ионная колонна Sidewinder с высокой плотностью тока, в которой источником ионов является редкометаллической галлий может проводить необходимую подготовку образца. Такая ионная колонна обеспечивает быстрое получение поперечного среза в заданном месте на поверхности образца с высоким разрешением, безотносительно к природе самого образца (как для деликатных биологических объектов, так и для сверхпрочных композитных керамических материалов). Sidewinder обеспечивает быструю подготовку образцов для ТЭМ: вырезания ламелей – тонких электронно – прозрачных слоев; размещение их на рабочей сетке, благодаря манипулятору EasyLift и проведение сверхточной полировки медленными ионами (500 эВ) с возможностью наблюдения за этим процессом в реальном времени.

Электронно-ионные микроскопы Scios пригодны как при рутинных работах в различных областях промышленности (например микроэлектронике), так и при основательных исследовательских работах в научных лабораториях.

Основные характеристики электронной колонны:

Разрешающая способность электронной колонны при высоком вакууме на оптимальной рабочей дистанции:

  • 8 нм в 30 кВ (STEM)
  • 0 нм в 15 кВ
  • 6 нм в 1 кВ

Пределы рабочего тока пучка: 1 пА – 400 нa

Пределы рабочей энергии: 20 В – 30 кВ

Пределы напряжения ускорения: 350 В – 30 кВ

Основные характеристики ионной колонны:

Разрешение ионной колонны при высоком вакууме на оптимальном рабочей дистанции:

  • 3,0 нм при применении селективного предельного метода
  • 5,0 нм при применении оптимального статистического метода

Пределы рабочего тока пучка: 1,5 пА – 65 нА

Пределы напряжения ускорения: 500В – 30 кВ

Диаметр сечения ионного и электронного пучков составляет 4мм (при рабочем расстоянии в 7 мм)

Вакуумная система для обеспечения рабочего вакуума в камере<6,3 * 10-6 мбар (в течение 72 ч. откачки):

  • Турбонасос с рабочим объемом в 210 л / с
  • Сухой винтовой форвакуумный насос
  • Три ионно-геттерных насоса

Система детектирования для микроскопов Scios:

  • Внутрилинзовая внутриколонная система детектиров Trinity с возможностью одновременного обнаружения четыре сигнала: внутрилинзовые детекторы: T1 сегментированый нижней и T2 верхний; внутриколонний детектор – T3 выдвижной
  • Датчик для детектирования Венхарда – Торнли SE (ETD)
  • ИК-камера, контроль изображения образца / колонны
  • Рабочая камера Nav-Cam +
  • Высокоэффективный детектор конверсии ионов и электронов (ICE) для вторичных ионов (SI) и электронов (SE).
  • Выдвижной сегментирован детектор для направленного детектирования обратно-рассеянных электронов (BЕSD)
  • Выдвижной STEM детектор с сегментами BF / DF / HAADF
  • Интегрированные измерения тока пучка

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: