Электронно-ионные микроскопы (двухлучевые системы)

Электронно-ионные микроскопы (двухлучевые системы)

Двухпучковые Электронно-ионные микроскопы это уникальные аналитические системы, позволяющие проводить исследования, используя два сфокусированных пучка: электронный и ионный. Электронная колонна (S \ TEM) создает сфокусированный пучок электронов благодаря которому формируется изображения и провидится анализ различных образцов. Ионная колонна (FIB) формирует пучок сфокусированных ионов и обеспечивает быструю и точную подготовку образцов (вырезание, вытравливания слоев, или напыление в образце). ООО Новации являются официальным дистрибьютором в Украине компании Thermo Scientific (в предыдущие годы компания FЕI) и предлагает уникальную серию двухпучковых инструментов анализа, которые обеспечивают надежную и высокоточную работу с любыми образцами.

В двухпучковых микроскопа изображение формируется с помощью электронной пушки сканируя или просвечивая образец сфокусированным пучком электронов.

Электронно-ионные микроскопы (FIB\STEM)| Исследования поверхности и состава | Новации

Источником таких электронов, в современных микроскопа, есть полевой эмиттер Шоттки,  не требующий использования для работы высоких температур как в случае термоэмиссии. Разрешение в субнанометровому диапазоне достигается особенностями строения системы фокусировки пучка. В новейшей сканирующих микроскоп от FЕI, кроме стандартных электромагнитных линз, имеется уникальная разработка – иммерсионная линза, что позволяет создать дополнительное фокусировочное магнитное поле вне колонной.

Вторая пушка, ионная, формирует сфокусированный пучок ионов, источником которых, как правило, является редкометаллической галлий (Ga). Ионы, ускорившись электрическим полем, сталкиваются с исследуемым образцом и «выбивают» атомы материала с объекта исследования. Таким образом ионная пушка обеспечивает вырезания, или вытравливания слоев исследуемого образца. Разрешение при таких манипуляциях в современных ионных пушках может составлять около 2-3нм. Инновационные разработки от FЕI сделали возможным использование колонны, источником ионов в которой есть плазма различных газов (Xe, Ar, O, N). Такая колонна является незаменимым инструментом при подготовке образцов для которых не желательно использование ионов галлия. Например, ионы галлия достаточно легко растворяются в образцах из алюминия, чем загрязняют подготовленный образец.

Использование ионной пушки облегчает, а в некоторых случаях выступает единственной возможностью создания тонких высококачественных образцов для ТЭМ.

Сферы применения двухлучевых систем:

  • материаловедение (обеспечивает многомерное исследование материалов с субнонометровим разделением)
  • микроэлектроника (позволяет определить точные размеры элементов и размеры слоев, обеспечивает выявление различных дефектов)
  • биология и наноанализ (Конструкционные особенности позволяют визуализировать мельчайшие детали биологических объектов с высоким разрешением)
  • геология и нефтедобывающая промышленность (автоматизированное программное обеспечение позволяет создавать 3D модели распределения микропор, позволяет идентифицировать геологические минералогические включенными и т.д.)

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: