Двупочковые системы Helios NanoLab

Двупочковые системы Helios NanoLab

Электронно-ионные микроскопы Helios NanoLab это новейшая разработка компании Thermo Scientific (в предыдущие годы FEI. Двупочковые системы обеспечивают получение изображения с субнанометровым разрешением в режимах работы S\TEM электронной пушки. Одновременно Helios NanoLab, благодаря имеющейся ионной пушке, является надежным инструментом в быстрой и точной подготовке образцов для исследования в трансмиссионных микроскопах.

Инновационная электронная колонна Elstar позволяет получить предельные значения разрешающей способности 0.7нм при рабочих энергиях от 30кВ до 1кВ благодаря своим конструкционным особенностям:

  • современный источник для электронной пушки – полевая эмиссия Шоттки;
  • иммерсионная линза для создания фокусирующего магнитного поля вне колонны
  • линза постоянной силы для термостабильной работы и обеспечения электростатического сканирования;
Электронно-ионные микроскопы (FIB\STEM)| Исследования поверхности и состава | Новации
  • режима торможения пучка;
  • монохроматором UC для получения предельного разрешения в 1 нм при пониженных рабочих энергиях в 500В (ICD), что гарантирует сохранность рабочего состояния чувствительных образцов-диэлектриков, фоторезистов
  • обновленная автоматизированная система управления и система детектирования со встроенными в колонну детекторами Elstar (ICD и MD) для измерения обратно – рассеянных и вторичных электронов.

Ионные колонны: Tomahawk, PFIB2.0 (в зависимости от выбранной модели). В колонне Tomahawk, как источник первичного пучка, используют ионы галлия (Ga). Новейшей разработкой от FEI является ионная колонна PFIB2.0, которая в качестве первичного пучка использует не ионы галлия (Ga), а ионы плазмы одного из четырех газов: ксенона, аргона, кислорода или азота (Xe, Ar, O, N) с автоматизированным быстрым переключением между ними. Такая колонна позволяет применять пучки ионов плазмы для подготовки образцов, где использование галлия является нежелательным. Например, ионы галлия легко растворяется в алюминии, соответственно, создать чистые образцы из алюминия используя пушку с источником ионов галлия становится невозможным. Ионная колонна PFIB2.0 позволяет получить новое качество при подготовке образцов для работы на TEM микроскопах.

В электронно-ионных микроскопах Helios NanoLab используется запатентованное решение в области ионной химии GIS (система инжекции газа) для расширенного травления или напыления образца. Благодаря существующей системе GIS создана возможность подвода газа непосредственно к поверхности образца, обеспечивает напыление на поверхности тонких пленок, соединений, дорожек и т.п. в заданном месте.

Официальным дистрибьютором компании Thermo Scientific в Украине является ООО Новации.

  • материаловедение;
  • микроэлектроника;
  • геология и нефтедобывающая отрасли;
  • естественные науки и биотехнологии;
  • нанотехнологии.

Разрешающая способность электронной колоны на оптимальной рабочей дистанции:

Для диапазона высоких токов 0,8 пА – 100 нА

– 0,6 нм в 30 кВ (режим STEM)

– 0,7 нм в 1 кВ

– 1,0 нм в 500В (режим ICD)

Для диапазона низких токов 0,8 пА – 22 нА

– 0,7 нм в 30 кВ STEM

– 0.8 нм в 15 кВ

– 1.4 нм в 1 кВ

Разрешающая способность электронной колоны в точке пересечения пучка:

Для диапазона высоких токов 0,8  пА – 100 нА

– 0,6 нм в 15 кВ

– 1,2 нм в 1 кВ

Для диапазона низких токов 0,8пА – 22 нА

– 0,8 нм в 15 кВ

– 2,5 нм в 1 кВ

Разрешающая способность ионной колоны в точке пересечения пучков:

– 4,0 нм в 30 кВ применяя оптимальную статистическую методику

– 2,5 нм в 30 кВ применяя селективно предельный метод

Рабочий диапазон токов:

– электронная пушка – 0,8 пА – 100 нА

– ионная пушка – 0,1 пА – 65 нА

Вакуумная система для обеспечения рабочего вакуума  <2,6 * 10-6 мбар:

– турбомолекулярный насос с рабочим объемом в 210 л/с

– сухой форвакуумный насос

– четыре ионно-геттерных насосов

Рабочая камера Helios NanoLab

– диаметр пересечения ионного и электронного пучков составляет 4мм для SEM (рабочая дистация)

– угол наклона между ионной и электронной колоннами составляет 52 градуса

Система детектирования в микроскопе Helios NanoLab

  • Датчики внутрилинзовые Elstar (TLD-ВSE и TLD-SE) – детектирование вторичных электронов и обратно-рассеянных.
  • Датчики внутриколонные Elstar (MD и ICD) – детектирование вторичных электронов и обратно-рассеянных.
  • Nav-Cam + рабочая камера и ИК-камера
  • Датчик вторичных электронов Эверхарт-Торнли (ETD).
  • Датчик прошедших электронов выдвижной сегментированный – BF / DF / HAADF (для STEM)
  • Выдвижной низковольтный с высокой контрастностью датчик для детектирования обратно – рассеянных электронов (DBS).
  • датчик для интегрированного измерения тока

Если вы нашли ошибку, пожалуйста, выделите фрагмент текста и нажмите Ctrl+Enter.

Сообщить об опечатке

Текст, который будет отправлен нашим редакторам: