SEM with a tungsten cathode
Лінійка сканувальних електронних мікроскопів CIQTEK з вольфрамовою ниткою розжарювання – це універсальне рішення для завдань від рутинного аналізу до нанодосліджень. Прилади зручні як для новачків, так і для експертів завдяки інтуїтивному інтерфейсу та стандартній оптичній навігації. Робочий процес максимально спрощений: автоматичне фокусування, корекція астигматизму та налаштування контрасту дозволяють отримувати якісні зображення в один клік. Ці мікроскопи відзначаються багаторівневим апаратним і програмним захистом від зіткнень, ІЧ-моніторингом камери у реальному часі та продуманою ергономікою зі швидкою заміною попередньо від’юстованої нитки розжарювання.
The series includes three main models, designed for different levels of complexity and specific sample characteristics:
SEM2100 (Basic Model)
An easy-to-use, compact SEM with a minimalist interface. The ideal solution for basic tasks, embodying the philosophy of “Simplicity without compromising functionality.”
SEM3200 (Universal Model)
A high-performance SEM with a dual-anode electron gun and low-vacuum mode. An excellent choice for challenging non-conductive samples, polymers, and carbon materials, delivering outstanding performance at low voltage.
SEM3300 (Flagship Model)
An ultra-high-resolution SEM that pushes beyond the traditional limits of tungsten-filament microscopes. Thanks to its “Super-Tunnel” optics and in-lens detectors, it enables analysis at low voltages previously achievable only with field-emission SEMs.
| Характеристика | SEM2100 | SEM3200 | SEM3300 |
|---|---|---|---|
| Цільове призначення | Базовий аналіз, швидка рутинна робота | Універсальний аналіз, робота з непровідними зразками | Надвисока роздільна здатність, аналіз при низькій напрузі |
| Електронна оптика / Гармата | Стандартна вольфрамова | Двоханодна гармата (підвищує роздільну здатність на 10% і сигнал-шум на 30% при низькій напрузі) | Оптика “Super-Tunnel” та комбінована (електромагнітна + електростатична) об’єктивна лінза |
| Режими вакууму | Високий вакуум | Високий вакуум + Низький вакуум (5~180 Па та 180~1000 Па) | Високий вакуум |
| Оптична навігація | Вертикальна камера | Вертикальна камера | Вертикальна камера |
| Безпека та захист | ІЧ-камера, програмний та апаратний захист від зіткнень | ІЧ-камера, програмний та апаратний захист від зіткнень | ІЧ-камера, програмний та апаратний захист від зіткнень |
| Функція ПЗ | Опис можливостей | Доступність у серії |
|---|---|---|
| Аналіз частинок та пор (опційно) | Алгоритми виявлення та сегментації об’єктів для кількісного статистичного аналізу. Застосовується в матеріалознавстві, геології, екології. | Підтримується всіма моделями |
| Постобробка зображень | Онлайн/офлайн постобробка, зручні інструменти для вимірювання, анотування та об’єднання зображень. | Вбудовано в усі моделі |
| Автоматичне вимірювання (опційно) | Авторозпізнавання країв ліній (Line, Space, Pitch) для точних і узгоджених вимірювань. Сумісність з багатьма форматами. | Підтримується всіма моделями |
| Автомапування (Automapping) (опційно) | Автоматичне зшивання та картування великих площ зразка. | Підтримується всіма моделями |
| Комплект розробки (SDK) (опційно) | Інтерфейси для написання скриптів: керування мікроскопом, збір даних для автоматизації, корекція дрейфу. Підходить для перевірки домішок у сталі тощо. | Підтримується всіма моделями |
| SEM2100 | SEM3200 | SEM3300 | |
|---|---|---|---|
|
Зображення
|
|
|
|
| Роздільна здатність (Вторинні електрони – SE) | 3 нм при 20 кВ | 3 нм при 30 кВ; 7 нм при 3 кВ | 3 нм при 30 кВ (30 Па); 2.5 нм при 15 кВ; 4 нм при 3 кВ; 5 нм при 1 кВ |
| Роздільна здатність (Зворотно-розсіяні – BSE) | 4 нм при 20 кВ | 4 нм при 30 кВ | — |
| Прискорююча напруга | 0.2 кВ ~ 30 кВ | 0.2 кВ ~ 30 кВ | 0.1 кВ ~ 30 кВ |
| Збільшення | 1x ~ 300 000x | 1x ~ 1 000 000x | 1x ~ 300 000x |
| Тип предметного столика | 3-осьовий (X, Y, Z), моторизований | 5-осьовий (X, Y, Z, T, R), моторизований | 5-осьовий (X, Y, Z, T, R), моторизований |
| Діапазон переміщення столика |
X, Y: 125 мм Z: 50 мм |
X, Y: 125 мм Z: 50 мм T: –10° ~ 90° R: 360° |
X, Y: 125 мм Z: 50 мм T: –10° ~ 90° R: 360° |
| Стандартні детектори | ETD (Еверхарта-Торнлі) | ETD (Еверхарта-Торнлі) | Inlens (внутрішньолінзовий) + ETD |
| Опційні детектори | BSED, EDS / EDX, EBSD | BSED, EDS / EDX, EBSD | BSED, EDS / EDX, EBSD |
| Додаткові опції (апаратні) | Шлюз для зразків, Панель керування з трекболом | Шлюз для зразків, Панель керування з трекболом | Шлюз для зразків, Панель керування з трекболом |