Застосування
Скануючий електронний мікроскоп з іонним променем (FIB-SEM)
Роздільна здатність SEM: до 1,1 нм при 15 кВ
Роздільна здатність FIB: близько 5-10 нм
Електронна гармата: польова емісія
Іонна колона: Ga+
Підтримка газових інжекторів для осадження Pt, W, C та травлення матеріалів
Трансмісійний електронний мікроскоп з польовою емісією (TEM)
Режими: яскраве поле, темне поле, дифракція
Прискорювальна напруга: 20-120 кВ
Збільшення: 22-300 кХ
Двополюсна деталь: роздільна здатність 0,34 нм; Cs 6,3 мм; Куб. см 5,0 мм; Фокусна відстань 6,1 мм
Максимальний еуцентричний нахил: +/- 80 градусів
Холдери: Single tilt; Кріо-одиночний нахил
Кріо-бокс