Скануючий електронний мікроскоп з іонним променем (FIB-SEM)
Роздільна здатність SEM: до 1,1 нм при 15 кВ
Роздільна здатність FIB: близько 5-10 нм
Електронна гармата: польова емісія
Іонна колона: Ga+
Підтримка газових інжекторів для осадження Pt, W, C та травлення матеріалів